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霍廷格电子(上海)有限公司
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霍廷格电子(上海)有限公司

销售支持电话:0512 5367 7293
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1000
产品编号
所属分类
企业大全
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品牌:
霍廷格电子
区域检索:
上海
品牌类型:
外资品牌
产品分类:
真空配件
品牌检索:
T
地址:
官网:
特点:
产品描述
参数
产品参数

企业简介

        德国霍廷格电子有限公司成立于1922年,总部设于德国弗莱堡,是世界领先的等离子体电源制造商,产品主要用于:半导体,显示器和太阳能领域,及光学镀膜,装饰镀膜,工业镀膜,大面积玻璃镀膜等行业的等离子体应用。

        我们致力于开发、制造用于各种沉积和干腐蚀工艺的等离子电源。通快霍廷格在亚洲、欧洲和美洲分别设有销售和服务子公司和分支机构。在中国设有亚太区应用中心、维修中心及匹配器生产中心。

 

主要产品

等离子体中频电源

TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列

        此系列工艺电源专为PVD、PECVD 和反应溅射工艺的等离子辅助沉积设计。在太阳能电池、半导体制造、装饰耐磨涂层沉积及建筑玻璃涂层市场提供完美的解决方案。

TruPlasma MF7000 (G2) 系列

        全新一代 TruPlasma MF7000 (G2) 系列中频电源,可以实时监控整个工艺过程,即使对于膜层质量极其严苛的大面积玻璃镀膜工艺,也能保证极佳的膜层质量和最优的生产效率。全新一代中频电源同时也具有很大的成本优势,最大转化效率可达 90%以上。


等离子体脉冲直流电源

TruPlasma Highpulse 4000 (G2) 系列

        该系列电源可以沉积超耐腐蚀和超耐磨的硬质材料涂层,HIPIMS 是这类应用的首选。配合基板偏压,该系列还可为半导体应用服务,如沟槽填充、表面预处理与蚀刻。

 

TruPlasma DC 4000 (G2) 系列

        TruPlasma DC 4000 (G2) 系列专为金属,金属氧化物,绝缘材料的反应直流溅射而开发。电源以直流脉冲的形式输出,在高要求的膜层质量和大产能的PVD 和PECVD 工艺中证明了它的优势。

 

等离子体直流电源

TruPlasma DC 3000 (G2) 系列

        适合众多直流溅射工艺,得益于先进的电弧管理和集成水冷装置,该款直流电源同样可用作脉冲式直流电源的高性价比替代方案。此外,极其紧凑的结构使其方便集成至现有应用中。

 

TruPlasma Arc 3000 (G2) 系列

        该系列电源主要用于硬质镀膜和装饰镀膜。全水冷设计,多路输出,确保充分利用宝贵的有效空间,方便集成至新系统或现有系统之中。

 

TruPlasma DCLV 3000 (G2) 系列

        适用于RPD 工艺,具有强大辅助起辉功能,保证稳定起辉的同时能够高精度大电流输出。

 

TruPlasma HVDC 3000 (G2) 系列

        该系列电源主要用于离子注入,粒子加速,刻蚀等等离子应用工艺。更高的电压上限,宽泛的占空比调节,超快的电压爬升,提高工艺的灵活性。

 

等离子体射频电源

TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) 系列

   
                                                                  1001 Air 1kw 系列                                                           G2 2~6kw 系列                                                                       10~90kw 系列

        全新一代的射频电源TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13.56M) 系列,对工艺过程中的所有参数进行实时监测,即使在要求严苛的等离子体工艺中,仍能确保可靠供电。其稳定的输出功率和高精度控制确保高效高生产效率的同时,实现最佳工艺效果。

 

TruPlasma VHF 3000 系列

        基于创新的平台概念, 频率覆盖27M;40M;60M。功率范围1~10kw。可满足极为苛刻的生产要求。VHF 电源的纯水冷模块化结构与极高的功率密度设计可以确保大功率输出下的稳定性。

 

TruPlasma LF 1000 系列

        频率范围有350k,400k,2M,功率范围1~10kw,适用于各类半导体,光伏,ALD,刻蚀等离子应用。

 

TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列

        TruPlasma Match 系列是对通快霍廷格RF 电源的完美补充,其智能匹配算法和数字化监控平台为工艺监控提供了全方位的解决方案,其所有的部件能够以最佳的方式协调工作。

 

感应加热电源

TruHeat MF 7000 (G3) 系列

        此系列电源产品能够在最小的空间内提供最高功率和极高效率的感应加热系统。凭借着独一无二的优势,此系列产品在市场上的应用范围横跨感应加热传统应用领域如硬化、退火、焊接、熔化和锻造和第三代半导体市场如外延和晶体生长等特殊领域。

 

TruHeat MF 3000 / 5000 / 7000 系列

        TruHeat MF 3000 / 5000 / 7000 是性能强劲的中频电源产品系列,此系列采用并联振荡电路技术。该类多功能电源具备 10kW 至 40 kW 的功率范围和 5 kHz 至 200 kHz 的输出频率,在传统加热应用和高科技工艺流程工艺中都有着出色表现。

 

TruHeat HF 7000 系列

        能够在高达3000 kHz 的高频下持续稳定的输出高功率。凭借着可靠的真空管技术,该系列电源适用于半导体和光伏产业中长时间不间断的工艺流程,也可同样适配商业外包淬火车间中不断变化的要求。

 

TruHeat HF 1000 / 3000 / 5000 系列

        囊括用于所有工业加热工艺类型的通用型电源。紧凑设计和多种可变的结构形式使其能够轻松集成至现有及全新设备中。

 

公司官网:http://www.trumpf-huettinger.com/
联系电话:+86 (0512) 53287260
服务热线:400 820 6136

 

 

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