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RF射频电源在工业中的应用

        RF(Radio Frequency) 射频电源在工业生产和研发中有着广泛的应用前景。在包括反应离子刻蚀(RIE),化学气相沉积(PECVD),磁控溅射(Sputtering)等领域,都有着广泛的应用。

        霍廷格RF电源产品,通过研发团队多年持之以恒,不断研发创新,与国内外各行业的领头企业深度合作,积极响应市场和客户端的需求,在各个行业市场中取得了优异的表现。


        对于不同功率规格的应用需求,RF G2二代产品系列包含了从1KW到90KW的不同型号电源,兼容多种通讯方式(DNet, RS232, AD interface, Profibus, EtherCat, EtherNet 等)。

        并且RF G2二代产品系列可配备定制化的射频匹配器,让电源与匹配器之间实现实时通讯控制,形成一个快速便捷, 稳定可靠的RF射频系统。

        RF G2二代产品, 在Class F的运放拓扑结构基础上, 优化了多种先进功能, 尤其是对一些半导体相关工艺的开发, 起到了至关重要的作用。


         自动调频 Auto Frequency tuning 

 
        多级脉冲 Multi-level Pulsing 


         智能抑弧Arc Management