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Bipolar在Low-E市场的应用

Bipolar在Low-E市场的应用

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  • 分类:市场动态
  • 作者:霍廷格
  • 来源:霍廷格
  • 发布时间:2021-07-22
  • 访问量:

        镀膜赋予了玻璃一个新的意义,它不仅改变了玻璃的外观,还由此生成了许多全新的功能。

        Low-E玻璃又称低辐射玻璃,是在玻璃表面通过PVD方式镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品。

        其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性,与普通玻璃及传统的建筑镀膜玻璃相比,具有优异的隔热效果和良好的透光性,同时又非常美观。

        膜层是利用磁控溅射的方式来制备的,而溅射电源是其关键因素之一。随着客户对产品性能要求的提高,除了要选择不同电源类型外,对于输出波形,电弧管理也有新的要求。

 

输出波形

        不同输出波形可以改变膜层性能,比如双极脉冲溅射在抑弧和峰值能量上优于正弦波,在制备TiO2膜层时能够沉积出金红石结构,具有更高的折射率;脉冲直流溅射对比纯直流溅射在晶体结构上也有不同。

电弧管理

        电弧会对靶材和产品造成严重的影响,通常由几方面产生:

        ▶ 反应溅射时,金属氮氧化物会在靶面溅射区周围再沉积,形成一个绝缘层,同时不断累积入射的正离子电荷,使得靶面局部电势不平衡,从而形成弧光放电

        ▶ 不规则刻蚀引起的尖端放电

        ▶ 靶材杂质或表面污染

        ▶ 旋转阴极机械原因(磁场抖动/电极接触等)

        ▶ 其他因素等

        霍廷格电子TruPlasma Bipolar 4000系列工艺电源,一经推出就在Low—E市场上得到了很好口碑和认可。

        在输出波形方面有直流、直流脉冲、双极脉冲、交流方波、类正弦波、梯形波。可以根据您的经验来选择不同波形,做出更好的膜层。

        在电弧管理方面,具备了特有专利—CLC电缆补偿技术和先进电弧判定算法。

        此功能能够在电弧初始阶段就检测出,并进行抑制,将电弧能量控制到极小的范围,最大抑弧能力40000次/秒,做到了行业内最顶尖的水平,尤其针对氧化锆靶材料。

        在建筑玻璃镀膜、耐磨装饰涂层涂覆、太阳能电池以及半导体制造中,TruPlasma Bipolar 4000系列工艺电源凭借灵活可塑的输出波形和强大的电弧管理,提供了完美的解决方案。

关于霍廷格
        德国霍廷格电子有限公司成立于1922年,总部设于德国弗莱堡,是世界领先的等离子体电源制造商,产品主要用于:半导体,太阳能和平板显示器领域,及光学镀膜,装饰镀膜,工具镀膜,大面积玻璃镀膜等行业的等离子体应用。

        我们致力于开发、制造用于各种沉积和蚀刻工艺的等离子电源。通快霍廷格在欧洲、美洲和亚洲分别设有销售和服务子公司和分支机构。在中国设有亚太区应用于维修中心。为您提供所有生产过程的优质服务。

 

公司官网:http://www.trumpf-huettinger.com/
联系电话:+86 (0512) 53677260
服务热线:400 820 6136

更多产品详情,请关注霍廷格官方公众号

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