HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering)，高功率脉冲磁控溅射电源是PVD领域最新的溅射技术。利用极高的脉冲功率密度（1~8MW）产生放电条件，既有阴极弧的高金属离化率和高致密膜层，又完全避免了大颗粒和滴液现象，同时又有良好附着力，耐磨，硬度等。

        市场对膜层的要求越来越高，而 HIPIMS技术又是PVD涂层的革新技术。随着市场的推动，HIPIMS技术从萌芽状态慢慢走向成熟。涂层的商业化量产既要涂层性能，又要兼顾到产能，故对HIPIMS电源的要求又重新做了定义。

        从输出角度来讲HIPIMS的脉冲能量要求在1MW~8MW，平均电流密度在0.5A~2A cm²（阴极面积），峰值电压在1.2KV~2KV，峰值电流在0.5KA~4KA脉冲持续时间在20us~300us，频率输出在50~10000Hz，脉冲输出波形要求-重复性好。

        霍廷格研发的Highpulse 4000 G2 系列电源经过10多年的更新换代，产品从第一代（G1）的三角电流波形输出，升级到第二代(G2)方波电流波形输出，能够极大的提升离化率，并且提高产品性能，满足（并不止于）商业化量产的所有要求，并得到市场了的验证。

第一代霍廷格Highpulse电源+输出波形：

        

全新第二代Highpulse 4000系列电源外观+输出波形：

关于霍廷格

        德国霍廷格电子有限公司成立于1922年，总部设于德国弗莱堡，是世界领先的等离子体电源制造商，产品主要用于：半导体，太阳能和平板显示器领域，及光学镀膜，装饰镀膜，工具镀膜，大面积玻璃镀膜等行业的等离子体应用。

        我们致力于开发、制造用于各种沉积和蚀刻工艺的等离子电源。通快霍廷格在欧洲、美洲和亚洲分别设有销售和服务子公司和分支机构。在中国设有亚太区应用于维修中心。为您提供所有生产过程的优质服务。

公司官网：http://www.trumpf-huettinger.com/
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