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商业化量产对HIPIMS电源的要求

商业化量产对HIPIMS电源的要求

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  • 分类:市场动态
  • 作者:霍廷格
  • 来源:霍廷格
  • 发布时间:2021-07-06
  • 访问量:

        HIPIMS(High Power Impulse Magnetron Sputtering),高功率脉冲磁控溅射电源是PVD领域最新的溅射技术。利用极高的脉冲功率密度(1~8MW)产生放电条件,既有阴极弧的高金属离化率和高致密膜层,又完全避免了大颗粒和滴液现象,同时又有良好附着力,耐磨,硬度等。

 

        市场对膜层的要求越来越高,而 HIPIMS技术又是PVD涂层的革新技术。随着市场的推动,HIPIMS技术从萌芽状态慢慢走向成熟。涂层的商业化量产既要涂层性能,又要兼顾到产能,故对HIPIMS电源的要求又重新做了定义。

 

        从输出角度来讲HIPIMS的脉冲能量要求在1MW~8MW,平均电流密度在0.5A~2A cm2(阴极面积),峰值电压在1.2KV~2KV,峰值电流在0.5KA~4KA脉冲持续时间在20us~300us,频率输出在50~10000Hz,脉冲输出波形要求-重复性好。

        霍廷格研发的Highpulse 4000 G2 系列电源经过10多年的更新换代,产品从第一代(G1)的三角电流波形输出,升级到第二代(G2)方波电流波形输出,能够极大的提升离化率,并且提高产品性能,满足(并不止于)商业化量产的所有要求,并得到市场了的验证。

 

第一代霍廷格Highpulse电源+输出波形:

        

全新第二代Highpulse 4000系列电源外观+输出波形:

  


关于霍廷格

        德国霍廷格电子有限公司成立于1922年,总部设于德国弗莱堡,是世界领先的等离子体电源制造商,产品主要用于:半导体,太阳能和平板显示器领域,及光学镀膜,装饰镀膜,工具镀膜,大面积玻璃镀膜等行业的等离子体应用。

 

        我们致力于开发、制造用于各种沉积和蚀刻工艺的等离子电源。通快霍廷格在欧洲、美洲和亚洲分别设有销售和服务子公司和分支机构。在中国设有亚太区应用于维修中心。为您提供所有生产过程的优质服务。

 

公司官网:http://www.trumpf-huettinger.com/
联系电话:+86 (0512) 53677260
服务热线:400 820 6136

 

更多产品详情,请关注霍廷格官方公众号


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