随着等离子体技术的不断发展，其应用领域的不断扩展，使得现代的射频电源系统有了长足的发展。

        八十年代的电子管已发展为现在的晶体管射频电源，其功率与频率也不断增强。

        而等离子体技术的应用更是无处不在：从智能手机、平板和柔性显示器，到航空航天技术、半导体产业、光学镀膜与医疗美容行业...日常生活中随处可见由等离子体技术加工而成的产品。

        谈到等离子体射频系统不得不涉及到阻抗匹配器。

        匹配器根据用户负载腔体的阻抗变化来调节自身参数，在整个系统中起到减少信号反射，达到阻抗匹配，使得所有高频的信号皆能传至负载点，提升能源效益的作用。

什么是阻抗匹配？
        阻抗匹配指在能量传输时，要求负载阻抗和传输线的特征阻抗相等。此时的传输不会产生反射，这表明所有能量都被负载吸收了，反之则在传输中有能量损失。

        简单来说就是信号源或传输线跟负载之间达到一种适合的搭配。如两个连通的、容积相等的水池，可互相交换水，但自身却不消耗水，长时间来看（积分）经过他们运输的水就没有损失。

阻抗匹配主要有两点作用：调整负载功率和抑制信号反射。

        当外电阻等于内电阻时，电源对外电路输出的功率最大，就能使一个纯电阻电路功率达到最大值。

        如图1所示，电路中电流I=U/（r + R），负载功率P=I*I*R。由以上两个方程可得当R=r时P取得最大值，Pmax=U^2/（4*r）。这就是纯电阻电路的功率匹配。

        电抗电路要比纯电阻电路复杂，因为电路中除了电阻外还有电容和电感。

        共轭匹配（conjugate matching）就是满足其最大功率传输条件方式之一。共轭的含义为负载阻抗等于源端阻抗的共轭值，即它们的模相等而幅角之和为零。

        简单来说，就是源端阻抗Rs+jXs和负载阻抗RL+jXL满足：实部相等Rs=RL，虚部相抵消Xs+XL=0，负载即能得到最大功率。

RF系统中为什么要用匹配器？
        如果系统没有内阻，所有的功率都将消耗在负载上，这样输出功率始终是最大的。但任何系统都是有内阻的，为了使负载的功率最大化，需要匹配器来进行阻抗匹配。

        RF系统中经常提到的Pfwd和Pref就是正向功率和反射功率。所以匹配器要做到的就是使得Pfwd为最大，Pref=0。

        为方便大家更好了解匹配器，以下即为TruPlasma Matchbox 1045/13（400A G2）型号的结构示意图，该款匹配器为水冷散热方式，主要由步进电机，微控制板，可调真空电容及电感构成。

TruPlasma Match匹配器
        霍廷格电子TruPlasma Match匹配器，一经推出就在半导体及光伏市场上得到了很好的口碑和认可。

        霍廷格电子提供多种规格型号的TruPlasma Match匹配器，适用于不同工业场景，如光伏，CVD，FPD，PVD，HDD，SEMI Etch等。

产品优势：
        01- 先进的匹配算法：通过软件特别对ALD工业模式进行优化，匹配器与电源可以更好的协同工作，匹配时间可缩短至25ms每气体脉冲。

        02- 电弧拉弧检测。

        03- 同步模式：刻蚀（SEMI Etch）工艺专用的同步功能。

        04- 先进的数字控制平台：通过TruPlasma MatchBox专用软件可以对匹配器进行控制以及模式的切换，软件内部还集成了史密斯圆图等检测工具。

        05 - Systemport接口: TruPlasma MatchBox特有的用于匹配器与TruPlasma Power电源之间进行同步通讯的接口。