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飞卓科技《全量程金属薄膜真空计研制》技术成果鉴定会顺利召开
发布时间：
2026-06-30
作者：
来源：
上海市真空学会
2026 年 6 月 23 日，《全量程金属薄膜真空计研制》技术成果鉴定会在飞卓科技哈佛厅顺利召开。本次会议由上海市真空学会组织行业专家，对飞卓科技（上海）股份有限公司自主研发的项目开展技术成果权威鉴定。
本次专家组汇聚了亚太材料科学院院士/华东师范大学、国内传感器国家工程研究中心、沈阳仪表科学研究院、上海工业自动化仪表研究院有限公司、中国科学院合肥物质科学研究院、复旦大学等真空计量、传感仪表领域七位权威专家。
会上，飞卓科技副总经理倪志东致欢迎辞。 随后，孙卓院士主持本次技术鉴定会。飞卓科技董事长刘启富全面汇报项目研制情况。专家组认真听取汇报，查阅水平检索报告、第三方检测报告、用户使用报告、专利等全套佐证文件，并针对关键技术开展质询与交流，经讨论一致形成科技评价报告。
在膜片应力释放结构方面，该项目设计了金属薄膜真空计膜片应力释放结构，通过搭配等距三角开口释放膜片残余应力，优化受力分布,新颖性突出。
在制备工艺方面，项目通过高温合金感压膜片全流程制备工艺链，独创真空感应熔炼结合双级热处理工序，改善膜片组织稳定性与抗疲劳性能，解决真空计信号漂移难题，该工艺组合在金属薄膜真空计领域具有创新性。
在数据处理方面，项目将神经网络算法用于金属薄膜真空计数据处理，有效改善温漂与非线性误差，测量准确度优于 ±0.25%。对标国际主流产品，经上海科学技术情报研究所水平检索，在准确度和分辨率方面达到了国际先进水平。
项目实现金属薄膜真空计产品全流程自主可控，拥有全套自主知识产权。产品经多家重点单位试用，产品稳定性、测量精度获得认可，可为半导体、航空航天、核工业等关键领域筑牢供应链安全，应用前景广阔。整体技术达到国内领先、国际先进水平。
