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真空大全

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Cluster PECVD等离子体化学气相沉积镀膜设备
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Cluster PECVD等离子体化学气相沉积镀膜设备

品  牌:沈阳科仪
咨询电话:024-23811701
零售价
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市场价
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浏览量:
1000
产品编号
所属分类
产品大全
数量
-
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库存:
0
1
品牌:
沈阳科仪
区域检索:
辽宁
品牌类型:
上市品牌
产品分类:
镀膜设备
品牌检索:
S
地址:
沈阳市浑南新区新源街1号
官网:
www.sky.ac.cn
特点:
产品描述
参数
产品参数

本设备采用等离子体增强化学气相沉积技术,在光学玻璃、硅、石英以及不锈钢等不同衬底材料上沉积氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,用以制备非晶硅和微晶硅薄膜太阳电池器件。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。

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