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磁控与离子束复合系统

品　　牌：沈阳科仪
咨询电话：024-23811701

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用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、铁磁膜和磁性薄膜等的制备。可广泛应用于半导体、微电子及新材料领域。

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单室离子束镀膜设备

Cluster PECVD等离子体化学气相沉积镀膜设备

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