产品描述
参数
产品参数
单室立式结构的高真空镀膜设备，可用于开发单层膜—类金刚石膜（DLC）等。类金刚石膜具有红外光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点，可以作为多种光学材料的增透率和保护膜，起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。适用于批量生产红外透镜的军工及光学镜片厂家。
设备组成
主要由镀膜室、靶电极、射频电源、电磁线圈及控制电源、泵抽系统、真空测量系统、电控系统、气路系统、水路系统等组成。
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MOCVD镀膜设备
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