热点推荐
关于举办 2026 年度“真空技术基础与聚变真空装备研发及应用” 高级研修班的通知
2026-09-22
第十届广东省真空科技创新发展论坛暨2026年 广东省真空学会学术年会
2026-08-31
设备用途
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
设备组成
系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶（三个靶）、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
下一页