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真空大全

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沈科仪TRP-450型磁控溅射系统
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沈科仪TRP-450型磁控溅射系统

品  牌:沈阳科仪
咨询电话:024-23826855
零售价
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市场价
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浏览量:
1000
产品编号
所属分类
产品大全
数量
-
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库存:
0
1
品牌:
沈阳科仪
区域检索:
辽宁
品牌类型:
上市品牌
产品分类:
镀膜设备
品牌检索:
S
地址:
沈阳市浑南新区新源街1号
官网:
www.sky.ac.cn
特点:
产品描述
参数
产品参数

设备用途
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。


 
设备组成
系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶(三个靶)、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

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