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真空大全

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系列罗茨与爪型干式真空泵
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系列罗茨与爪型干式真空泵

品  牌:沈阳科仪
咨询电话:024-23811701
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
所属分类
产品大全
数量
-
+
库存:
0
1
品牌:
沈阳科仪
区域检索:
辽宁
品牌类型:
上市品牌
产品分类:
真空泵
品牌检索:
S
地址:
沈阳市浑南新区新源街1号
官网:
www.sky.ac.cn
特点:
产品描述
参数
产品参数

JGM、JGH系列多级干式真空泵,结合罗茨与爪型转子吸气原理,通过多级转子的优化组合,最大限度利用了多级罗茨干泵与爪型干式真空泵的优势,从而在较宽的压力范围内获得较大的实际抽速,高效地实现了洁净真空环境的获得。
1、高清洁度的真空环境
2、整机高可靠性
3、稳定的运转性能
4、自适应智能控制
5、工艺安全性
6、客户优质服务


多级干式真空泵采用了罗茨转子与爪型转子组合的结构,充分利用了罗茨转子在低压区抽气高效,爪型转子在高压区抽气高效的特点,同时融合了爪型转子抽气通道短,压缩气体产生热量更高的特点,其性能相对于传统单纯爪型或单纯罗茨真空泵更具优势。


 
重点应用:
集成电路、太阳能电池、LED领域,可用于装载腔、传输腔等清洁工艺过程,也可用于PVD、刻蚀、多种CVD等一般制程工艺或苛刻制程工艺过程。

其他应用:

真空冶金(回火和退火、钢脱气,表面处理熔化,精炼,铸造和焊接等);
真空镀膜系统(玻璃镀膜、精密光学等);
真空包装、食品、化工、医药、电机制造等工业蒸馏、蒸发、干燥等。

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