产品描述
参数
产品参数
1、溅射离子泵结构采取仿真及优化设计，在1×10-7Pa真空度下具有不低于名义抽速的85%抽气能力。
2、在极高真空（XHV）区域，溅射离子泵仍有较大抽气能力。使用符合国家检测标准的检测装置，得到最低3.6x10-10Pa的检测压力。通过优化设计的高端SIP400A溅射离子泵，极限压力测试的下限已进入10-11Pa。
溅射离子泵应用领域
溅射离子泵产品专为超高真空的用户设计，可广泛应用于各种超高真空的科研装置和工业设备，涉及的行业有仪器仪表、粒子加速器、同步辐射光源、大功率激光研究、表面物理、材料科学、空间模拟、电子显微镜、质谱仪、通讯、真空校准、真空冶炼、真空镀膜、半导体应用设备、真空电子器件、医疗等行业。
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