在本次国际半导体盛会 —— SEMICON China 2024 中，Busch Group 以全新身份亮相。这是继 Busch 普旭、Pfeiffer 普发和 centrotherm clean solutions 商先创环保科技实现业务统合后，首次以集团身份参加中国展会。

        通过整合三家公司全面的真空技术及尾气处理技术，Busch Group 可提供更全面的真空解决方案和服务，并以丰富的产品组合满足半导体客户的不同需求。

        此次展会，集团以“广阔的产品组合 —— 一站式选择”为主题，在现场展示了应用于 Etch、Epi、Implant、CVD、ALD 等工艺的 Busch 普旭 COBRA DS 系列干式螺杆真空泵、Pfeiffer 普发 HiPace 及 ATH 系列涡轮分子泵、A 系列多级罗茨泵及 ASM 系列检漏仪。

Busch 普旭真空解决方案

        在半导体行业中，Busch 普旭的多款真空泵已经在其众多的工艺中安全运行。除苛刻工艺外，Busch 普旭还可提供尺寸小巧、能耗低，适用于 Load Lock、Transfer 等洁净工艺的 TORRI BD 系列多级罗茨真空泵，及拥有成本低、维护少，适用于 PVD 等一般苛刻工艺的 COBRA BC 系列干式螺杆真空泵。

        此外，在各种机台晶圆的吸附搬运应用中，Busch 普旭也有广泛的产品组合，如：无需工作液、小巧静音的 SECO 系列干式旋片真空泵，及低能耗、几乎免维护的 MINK 系列干式爪式真空泵。同时，在全球有超过 300 万台安全运行的 R5 系列油润滑旋片真空泵也可为真空回流焊、波峰焊、真空共晶炉等焊接设备提供稳定的真空环境。