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汉钟精机半导体用真空泵顺利通过科技成果评价

汉钟精机半导体用真空泵顺利通过科技成果评价

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  • 分类:市场动态
  • 作者:汉钟精机
  • 来源:汉钟精机
  • 发布时间:2021-06-18
  • 访问量:

        2021年6月16日,上海市真空学会组织的评价委员会在上海汉钟精机股份有限公司主持召开了由该公司自主研发的《PMF系列半导体用真空泵》科技成果评价会,评价委员会由亚太材料科学院院士、华东师范大学孙卓教授,复旦大学微电子学院卢红亮教授,上海大学平板显示工程技术研究中心李喜峰研究员,复旦大学材料科学系莫晓亮副研究员和上海市真空学会韩建华高级工程师等5名专家组成,由孙卓教授担任评委会主任。

 

        上海汉钟真空技术有限公司胡知顺副总经理致欢迎词并介绍了公司发展概况,薛军主任和付娜课长就《PMF系列半导体用真空泵》成果的结构及性能、优点、先进性、创新性,以及该项目带来的社会经济效益分析向评委会做了技术总结汇报,该泵采用了永磁无刷直流电机,具有高效率和低功耗的特点,相比传统的交流或直流电机节能效果明显。并开发了半导体用真空泵智能化控制系统。该项目申请专利3项(其中已授权1项)。该项目经过自主研发设计完成,产品具有先进的节能特点和稳定的可靠性,得到客户的认可,形成了良好的社会和经济效益。

        评委会专家查阅了测试分析报告、用户使用报告等相关资料,并现场考察了相关产品的生产、试验情况,经过质询和讨论,评委会成员一致同意通过该项目的科技成果评价。认为汉钟精机公司研制的半导体用真空泵,已形成了PMF100和PMF612两种型号,与国外同类产品技术参数比较,达到了同等技术水平。PMF系列半导体用真空泵具有创新性和先进性,对提升我国半导体设备国产化具有积极的促进作用。建议该产品在半导体行业内加强推广,积极参与国内外竞争。为实现科技自立自强做出新的贡献。

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