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雷震霖监事长

  • 分类:人物专栏
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  • 发布时间:2020-07-14 15:40
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【概要描述】

雷震霖监事长

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中国真空学会第九届理事会监事长

 

        工学博士,研究员。现任中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司首席科学家、真空技术装备国家工程实验室主任、国家真空仪器装置工程技术研究中心主任,兼任中国集成电路零部件产业技术创新联盟理事长、沈阳IC装备产业技术创新战略联盟理事长、沈阳真空产业技术创新战略联盟理事长、辽宁半导体装备产业技术创新战略联盟理事长、证监会创业板第一、二、三届发审委委员、国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项特聘专家、国家重大科学仪器专项总体组专家等职务,享受国务院特殊津贴。

 

        雷震霖在半导体薄膜制备设备、真空获得技术方面具有较扎实的理论基础和较高的技术水平,作为项目负责人或主要参加者研制开发出了系列分子束外延设备、集成电路12吋PECVD、UHV/CVD低温外延设备和新型薄膜材料制备设备等多种设备,多项技术与设备打破西方国家禁运,填补国内空白,为我国半导体设备发展作出了重要贡献。

 

        曾获得“教育部科技进步二等奖”、“国家科技进步三等奖”、“中国科学院科技进步一等奖”、“真空科技成就奖”、“辽宁省科技进步一等奖”、“浙江省科学技术二等奖”、“辽宁省领军人才”等奖项及荣誉。

 

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