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单室离子束镀膜设备

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发表于 2018-5-21 11:09:01 | 显示全部楼层 |阅读模式
品  牌:

沈科仪

产品特点:

咨询电话

024-23811701

设备用途

系统为高真空多功能离子束沉积系统, 可用于开发纳米级的单层及多层功能膜和复合膜-可镀金属、合金、化合物、半导体、介质复合膜等。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

设备组成

系统主要由沉积室、考夫曼溅射离子源、考夫曼清洗辅助离子源、样品台、样品加热装置、膜厚监测系统、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。

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