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第八届:2014~
理 事 长:许宁生(复旦大学)
副理事长:高鸿钧(中国科学院物理研究所)
副理事长:李言荣(电子科技大学)
副理事长:巴德纯(东北大学真空与流体工程研究所)
副理事长:雷震霖(中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司)
副理事长:彭练矛(北京大学)
副理事长:王西龙(浙江真空设备集团有限公司)
副理事长:董振超(中国科技大学微尺度物质科学国家实验室)
副理事长:于天化(北京北仪创新真空技术有限责任公司)
副理事长:李得天(中国航天科技集团公司510所)
副理事长:苏 原(中国通用机械工业协会真空设备分会)
秘 书 长:郭海明(中国科学院物理研究所)
常务副秘书长:刘锋(中国真空学会办公室)
副秘书长: 邓少芝( 中山大学)
副秘书长: 张 群(复旦大学)
副秘书长: 胡 征(南京大学)
副秘书长: 张耿民(北京大学)
副秘书长: 张政军(清华大学)

第七届:2009~2014
理 事 长:侯建国(中国科技大学副校长、物理教授及博士生导师)
副理事长:潘 峰(清华大学材料系)
副理事长:许宁生(中山大学)
副理事长:高鸿钧(中国科学院物理研究所)
副理事长:巴德纯(东北大学真空与流体工程研究所)
副理事长:陶 梦(北京北仪创新真空技术有限责任公司)
副理事长:苏 原(沈阳真空技术研究所)
副理事长:邱家稳(中国空间技术研究院研发部)
副理事长:雷震霖(中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司)
副理事长:王西龙(浙江真空设备集团有限公司)
秘 书 长:陈 旭(清华大学)
常务副秘书长:董振超(中国科技大学微尺度物质科学国家实验室)
常务副秘书长:刘 锋(中国真空学会办公室)
副秘书长:张 群(复旦大学)
副秘书长:曾 飞(清华大学)
副秘书长:张耿民(北京大学)
副秘书长:郭海明(中国科学院物理研究所)
副秘书长:周思平

第六届:2004~2009
名誉理事长:庞世瑾(中科院北京真空物理开放实验室)
理 事 长:侯建国(中国科技大学副校长、物理教授及博士生导师)
副理事长:潘 峰(清华大学材料系)
副理事长:江 南(东南大学电子工程系)
副理事长:邵公田(山东省政协 - 委员)
副理事长:张仕卿(沈阳真空技术研究所)
副理事长:邱家稳(中国空间技术研究院兰州物理研究所)
副理事长:季国平(信息产业部电子信息产品管理司)
副理事长:陶 梦(北京仪器厂(集团))
秘 书 长:陈 旭(清华大学)
常务副秘书长:谭 宁(薄膜专业委员会副主任兼秘书长)
副秘书长:高鸿钧(中科院物理所)
副秘书长:张 群(复旦大学)
副秘书长:董振超(中国科技大学)
副秘书长:张耿民(北京大学)
副秘书长:曾 飞(清华大学)
学会顾问:董元昌(中国电子基础产品装备公司)
学会顾问:方莉莉(中国真空学会办公室)

第五届:1998~2004
名誉理事长:华中一(复旦大学)
理事长:庞世瑾(中科院北京真空物理开放实验室)
副理事长:何 炜(清华大学)
副理事长:刘鸿飞(北京有色金属研究总院)
副理事长:于 溥(沈阳真空技术研究所)
副理事长:江 南(东南大学电子工程系)
秘 书 长:高本辉(航天工业总公司航天报社)
副秘书长:董元昌(中国电子基础产品装备公司)
副秘书长:袁 磊(中国真空学会)
副秘书长:薛增泉(北京大学电子学系)
副秘书长:潘 峰(清华大学材料系)
副秘书长:方莉莉(中国真空学会办公室)
副秘书长:陈 旭(清华大学电子工程系副教授)
副秘书长:高鸿钧(中科院物理所)
副秘书长:谭 宁(薄膜专业委员会副主任兼秘书长)
副秘书长:罗 毅(清华大学电子工程系)

第四届:1993~1998
名誉理事长:刘剑锋(电子工业部副部长)
名誉理事长:张文义(电子工业部副部长)
理事长:华中一(复旦大学)
副理事长兼秘书长:董元昌(中国电子基础产品装备公司)
副理事长:姜燮昌(沈阳真空技术研究所)
副理事长:庞世瑾(中科院北京真空物理开放实验室)
副秘书长:袁磊(中国真空学会)
副秘书长:高本辉(航天工业总公司宇航出版社)
副秘书长:黄本诚(航天工业总公司511所)
副秘书长:薛增泉(北京大学无线电系)

第三届:1988~1993
理 事 长:华中一(复旦大学)
副理事长:董元昌(中国电子基础产品装备公司)
副理事长:达道安(航空航天部510所)
副理事长:姜燮昌(沈阳真空技术研究所)
秘 书 长:袁 磊(机电部第12研究所)
副秘书长:高本辉(航空航天部宇航出版社)
副秘书长:庞世瑾(中科院北京真空物理开放实验室)
副秘书长:黄本诚(航空航天部5ll所)

第二届:1983~1988
名誉理事长:金建中(航天部510所)
理 事 长:华中一(复旦大学)
副理事长:达道安(航天部510所)
副理事长:龚求初(沈阳真空技术研究所)
秘 书 长:高本辉(航天部510所)
副秘书长:袁 磊(电子部第12研究所)
副秘书长:王芳霖(上海通用机械研究所)

1986年8月学会办公室迁京后
秘 书 长:董元昌(电子部元器件管理局)
副秘书长:高本辉(航天部宇航出版社)
副秘书长:袁 磊(电子部第12研究所)
副秘书长:工芳霖(上海通用机械研究所)


第一届:1979~1983
名誉理事:陆 平(七机部副部长)
理 事 长:金建中(七机部510所)
副理事长:华中一(复旦大学物理系)
副理事长:龚求初(沈阳真空技术研究所)
秘 书 长:高本辉(七机部510所)
副秘书长:庞世瑾(中科院北京科仪厂)
副秘书长:袁 磊(四机部1412所)

 
 
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