名誉理事 陆 平 七机部副部长
理事长 金建中 七机部510所
副理事长 华中一 复旦大学物理系
副理事长 龚求初 沈阳真空技术研究所
秘书长 高本辉 七机部510所
副秘书长 庞世瑾 中科院北京科仪厂
副秘书长 袁 磊 四机部1412所

名誉理事长 华中一 复旦大学
理事长 庞世瑾 中科院北京真空物理开放实验室
副理事长 何 炜 清华大学
副理事长 刘鸿飞 北京有色金属研究总院
副理事长 于 溥 沈阳真空技术研究所
副理事长 江 南 东南大学电子工程系
秘书长 高本辉 航天工业总公司航天报社
副秘书长 董元昌 中国电子基础产品装备公司
副秘书长 袁 磊 中国真空学会
副秘书长 薛增泉 北京大学电子学系
副秘书长 潘 峰 清华大学材料系
副秘书长 方莉莉 中国真空学会办公室
副秘书长 陈 旭 清华大学电子工程系副教授
副秘书长 高鸿钧 中科院物理所
副秘书长 谭 宁 薄膜专业委员会副主任兼秘书长
副秘书长 罗 毅 清华大学电子工程系

名誉理事长 庞世瑾 中科院北京真空物理开放实验室
理事长 侯建国 中国科技大学副校长、物理教授及博士生导师
副理事长 潘 峰 清华大学材料系
副理事长 江 南 东南大学电子工程系
副理事长 邵公田 山东省政协 - 委员
副理事长 张仕卿 沈阳真空技术研究所
副理事长 邱家稳 中国空间技术研究院兰州物理研究所
副理事长 季国平 信息产业部电子信息产品管理司
副理事长 陶 梦 北京仪器厂(集团)
秘书长 陈 旭 清华大学
常务副秘书长 谭 宁 薄膜专业委员会副主任兼秘书长
副秘书长 高鸿钧 中科院物理所
副秘书长 张 群 复旦大学
副秘书长 董振超 中国科技大学
副秘书长 张耿民 北京大学
副秘书长 曾 飞 清华大学
学会顾问 董元昌 中国电子基础产品装备公司
学会顾问 方莉莉 中国真空学会办公室