| 1994年名单：在承德召开的表面与纳米科学专委会学术会议上授奖（1995年） |
| 庞世瑾： |
由于在原子/分子操纵方面的出色成绩。 |
中科院北京真空物理实验室 |
| 戴永年： |
由于用真空蒸馏方法提纯某些有色金属 （如锡、铅、锌、等）所取得的成绩
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昆明工学院真空冶金研究所 |
| 黄良甫： |
由于在离子火箭发动机的离子源方面的 研究成绩。
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航天工业总公司510所（兰州） |
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| 1995年名单：在合肥召开的四届二次理事会上授奖（1996） |
| 杨乃恒： |
由于在涡轮分子泵方面的出色成绩。 |
东北大学 |
| 徐彭寿： |
由于在建立合肥同步辐射实验站方面的成绩。 |
中国科学技术大学 |
| 李仲君： |
由于在金属渗镀工艺方面的研究成绩。 |
电子部第二研究所（太原） |
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| 1996年名单：在北京召开的四届五次常务理事会上授奖（1997年3月） |
| 李旺奎： |
由于在真空计量方面的成绩。 |
航天工业总公司510所（兰州） |
| 姜祥棋： |
由于他在绝对真空规与材料的真空性能测定方面的成绩。
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复旦大学材料科学系 |
| 曹辉玲： |
由于他把真空检漏技术大规模用于电力工业方面的成绩。
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电子部第十二研究所（北京） |
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| 1997年名单：在北京召开的四届七次常务理事会上授奖（1998年3月） |
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| 姜燮昌： |
由于他在大型真空设备研制和推广方面的出色成绩。
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沈阳真空技术研究所 |
| 顾昌鑫： |
由于他在电子光学CAD方面的出色成绩。 |
复旦大学真空物理研究室 |
| 仇华兴： |
由于他在正负电子对撞机真空设备方面的出色成绩
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上海真空泵厂 |
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| 1998年名单：在山东威海召开的第五次会员代表大会上授奖（1998年10月） |
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| 谢 琪： |
由于他在研制分子束外延设备方面的出色成绩 |
中科院沈阳科学仪器研制中心 |
| 俞之圻： |
由于他在建设大型电真空器件生产线方面的 出色成绩。
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上海永新彩色显象管厂 |
| 潘星龙： |
由于他在研制表面仪器和非标真空系统方面的出色成绩。
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复旦大学材料科学系 |
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| 1999年名单：在上海召开的五届二次理事扩大会上授奖（1999年10月） |
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| 潘孝仁： |
由于他在真空电子学和超微粒子方面的出色成绩。
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华东理工大学 |
| 黄本诚： |
由于他在空间环境模拟设备方面的出色成绩。 |
中国航天工业总公司511所 |
| 李贵和： |
由于他在同步辐射真空工程方面的出色成绩。 |
国家同步辐射实验室（合肥） |
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| 2000年名单: |
| 张涤新: 由于在真空校准系统方面的出色成绩 |
| 葛 明: 由于在大型分子泵制造方面的出色成绩 |
| 彭 平: 由于在真空钎焊炉方面的出色成绩 |
