组织机构及其职能
    最高权力机构为会员大会，每3年召开一次，听取会员意见，修改章程，选举领导机构、官员和理事，吸收新会员，决定会费和预算等重大事项。下设执行委员会，由主席、当选主席和上届主席与4位官员（秘书长、司库、科技委员会主任、科学秘书）和31个会员国推选出的执行委员组成，任期3年。另有秘书处和8个专业分部（表面科学、应用表面科学、薄膜、等离子体科学与技术、真空科学、真空冶金、电子材料和工艺及纳米科技）及7个委员会（章程委员会、长期计划委员会、财务委员会、会议计划委员会、出版委员会、教育委员会、标准化委员会、奖金及奖学金委员会）。 目前该组织是国际科学联盟理事会（ICSU）的联系会员，与联合国教科文组织（UNESCO）具有工作关系的身份。