1994年名单：在承德召开的表面与纳米科学专委会学术会议上授奖
                            （1995年）

庞世瑾 由于在原子／分子操纵方面的出色成绩。
（中科院北京真空物理实验室）

戴永年 由于用真空蒸馏方法提纯某些有色金属(如锡、铅、锌等)所取得的成绩。
（昆明工学院真空冶金研究所）

黄良甫 由于在离子火箭发动机的离子源方面的研究成绩。
（兰州航天工业总公司510所)

1995年名单：在合肥召开的四届二次理事会上授奖（1996年）

杨乃恒 由于在涡轮分子泵方面的出色成绩。
（东北大学）

徐彭寿 由于在建立合肥同步辐射实验站方面的成绩。
（中国科学技术大学）

李仲君 由于在金属渗镀工艺方面的研究成绩。
（电子部第二研究所）

1996年名单：在北京召开的四届五次常务理事会上授奖（1997年3月）

李旺奎 由于在真空计量方面的成绩。
（航天工业总公司510所）

姜祥棋 由于他在绝对真空规与材料的真空性能测定方面的成绩。
（复旦大学材料科学系）

曹辉玲 由于他把真空检漏技术大规模用于电力工业方面的成绩。
（电子部第十二研究所）

1997年名单：在北京召开的四届七次常务理事会上授奖(1998年3月）

姜燮昌 由于他在大型真空设备研制和推广方面的出色成绩。
（沈阳真空技术研究所）

顾昌鑫 由于他在电子光学CAD方面的出色成绩。
（复旦大学真空物理研究室）

仇华兴 由于他在正负电子对撞机真空设备方面的出色成绩。
（上海真空泵厂）

1998年名单：在山东威海召开第五次会员代表大会上授奖（1998年10月）

谢 琪 由于他在研制分子束外延设备方面的出色成绩。
（中科院沈阳科学仪器研制中心）

俞之圻 由于他在建设大型电真空器件生产线方面的出色成绩。
（上海永新彩色显像管厂）

潘星龙 由于他在研制表面仪器和非标真空系统方面的出色成绩 。
（复旦大学材料科学系）

1999年名单：在上海召开五届二次理事扩大会上授奖（1999年10月）

潘孝仁 由于他在真空电子学和超微粒子方面的出色成绩。
（华东理工大学）

黄本诚 由于他在空间环境模拟设备方面的出色成绩。
（中国航天工业总公司511所）

李贵和 由于他在同步辐射真空工程方面的出色成绩。
（合肥国家同步辐射实验室 )

2000年名单：在杭州召开的五届六次常务理事会上授奖 (2000年11月)

李涤新 由于他在真空校准系统方面的出色成绩。
（兰州物理研究所）

彭 平 由于他在真空钎焊炉方面的出色成绩。
（兰州真空设备厂）

葛 明 由于他在大型分子泵制造方面的出色成绩。
（成都无极真空科技有限公司）

2001年名单：在北京召开的五届三次理事扩大会上授奖 (2001年10月)

何 炜 由于他在溅射离子泵理论及应用等方面的出色成绩。
（清华大学）

王欲知 由于他在气体放电理论及应用的出色成绩。
（西南交通大学）

蒋迪奎 由于他在同步辐射加速器真空工程的出色成绩。
（中科院原子核所同步辐射中心）

袁 磊 由于他在真空电子器件及真空工艺技术的出色成绩。
（信息产业部第12研究所）

2002年名单：在北京召开的五届九次常务理事会上授奖 (2002年11月)

高鸿钧 表彰他在分子相变及其在超高密度信息存储基础研究中的开创性成果。
（中科物理所）

罗 毅 表彰他在解决光电子分布性反馈增益耦合半导体激光器的开创性成果。
（清华大学电子工程系）

蓝增瑞 表彰他在解决空间飞行器的分子污染方面的出色成绩。
（上海卫星工程研究所）

2003年名单：在北京召开的五届十次常务理事会上授奖 (2003年12月)

邱 勇 表彰他在有机发光显示研究中的出色成绩。
（清华大学化学系）

李得天 表彰他在真空计量及其在航天应用中取得的出色成绩。
（兰州物理研究所）

张宝夫 表彰他在罗茨真空泵研制中的出色成绩。
（浙江真空设备集团有限公司）

2004年名单：在杭州召开的第六届全国会员代表大会上授奖 (2004年11月)

潘 峰 表彰他在声表面波器件材料研究开发中取得的出色成绩。
（清华大学材料科学工程系）

查良镇 表彰他在质谱分析研究开发中的出色成绩。
（清华大学电子工程系）

巴德纯 表彰他在干式真空泵研究开发中的出色成绩。
（东北大学机械工程与自动化学院）

2005年名单：在六届二次常务理事会上颁奖

王 琛 表彰他在纳米化学领域表面有机分子吸附和自组装结构研究的出色成绩。
（中科院化学研究所研究员）

周均铭 表彰他在分子束外延的材料研制和应用方面的出色成绩。
（北京圣佳电子有限公司总经理、研究员）

杨晓天 表彰她在重离子加速器系统改造中获得极高真空的出色成绩。
（中科院近代物理研究所研究员）

2006年名单：在2006年学会学术年会上颁奖

范垂祯 表彰他在表面科学与宇航材料表面分析的出色成绩。
（兰州物理研究所研究员）

吴锦雷 表彰他在纳米光电薄膜基础研究中的出色成绩。
（北京大学教授）

雷震霖 表彰他在分子束外延等大型真空科学仪器研制的出色成绩。
（中科院科学仪器研制中心有限公司研究员）