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200mm口径低温泵

苏州八匹马超导科技有限公司

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        低温真空泵:低温真空泵是基于气体冷凝降压效应,将可冷凝气体冷凝至低温表面、非冷凝气体被低温固体吸附剂吸附,从而使密闭腔体压力下降的高真空获得装置。低温真空泵广泛应用于大规模集成电路和泛半导体行业中,其中在光刻、蚀刻、离子注入、物理气相沉积及手机曲面屏的镀膜工艺中,低温真空泵均具有不可替代的作用,在上述行业中提供必要的高真空条件。 

 

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