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上海福宜真空设备有限公司

联系人:王小姐
手机:18117348020

所属分类:

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公司简介


        上海福宜真空设备有限公司,是致力于高端真空镀膜设备、复杂镀膜工艺和真空设备核心部件的研发、生产、销售及技术服务的高新技术企业。公司开发的主要设备有:工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射复合多弧离子镀镀膜设备、连续线式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、CVD和PECVD化学气相沉积设备、ICP刻蚀设备和ALD原子层沉积等系列真空镀膜和表面处理设备。
        公司创始人和核心技术团队,致力于复杂镀膜工艺的开发,镀膜工艺和设备集成的理论和实际相结合是公司发展的主要特色。相对于整机设备和镀膜工艺技术,国内核心部件的研究和制备技术水平与国外差距更大。公司投入超过1000万元,重点开发的核心部件主要有:高材料利用率(材料利用率超过40-60%以上)矩形平面磁控溅射阴极、产业用旋转磁控溅射阴极(材料利用率达到80%以上)、线性离子源、多弧阴极、多弧过滤阴极和多弧旋转柱状阴极等。通过核心部件的研发,提升了公司整机设备的技术水平、性价比和核心竞争力,主要技术达到国际同期水平。
        公司核心技术团队,具有多年军工企业和科研院所的工作经历。公司同时发挥上海科研院所集中的优势,和中国科学院上海微系统与信息技术研究所建有联合实验室,该实验室拥有世界先端真空设备价值超过4000万元,具有新能源、储能和功能薄膜材料制备工艺技术。公司和上海交通大学、同济大学、华东师范大学和东华大学等高校建立了紧密合作关系,强强联合、优势互补,开发真空设备和镀膜工艺等核心技术。公司组建了近20名由博士、硕士和副高以上职称工程技术人员组成的研发团队;公司拥有净化等级优于1万级的装配车间。从软件到硬件,公司在产品开发方面积极投入,确保公司产品和技术服务水平达到较高水平。
        公司以“用户第一、质量第一”为发展理念,以提升我国真空镀膜和表面处理、装备制造和核心部件的研发和制造水平为己任,和业界同仁广泛交流合作,使国内制造技术走向世界,同步迈向美好的明天!


主要产品

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