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公司简介
中科九微科技有限公司是由中国科学院微电子研究所、九天真实科技集团于2018年联合投资成立的半导体高端装备智能制造企业。公司占地265亩、总建筑面积17万余平方米。现有研发场地8000余平方米，目前拥有一种用于等离子体浸没注入中剂量检测方法等在内的10项授权发明专利、20余项已受理专利。
公司积极响应国家“十三五”规划和《中国制造2025》行动纲领，以打破高端设备国外垄断、实现高端集成电路装备核心技术国产化为己任；以完善国内产业生态链、促进产业升级为目标，瞄准半导体装备对核心设备及核心部件的需求，打造一条融合高端研发、智能制造、精准营销和服务于一体化的生态链，最终将公司打造成一个专业化、系统化、规模化的具有国际先进水平的综合性集成电路高端装备产业集团。
主要产品
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