
产品描述
参数
产品参数
PANDA WZ 3600 A
罗茨真空泵
PANDA/PUMA 罗茨泵能够提高真空泵的抽速和极限压力, 它们可以将真空系统的性能提升约十倍。
PANDA/PUMA 可以配合前级泵使用,非常适合在特定工作压力下需要高抽速的应用。
Busch 普旭罗茨泵备有众多尺寸可供选择, 因此抽速和极限压力均可根据工艺条件进行量身定制。
相较于 PUMA 罗茨泵,PANDA 罗茨泵标配有旁通阀, PUMA/ PANDA 系列均兼容变速驱动装置。
工作原理
在 PANDA/PUMA 罗茨泵的外壳中,两个转子同步旋转。由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体。因此,工艺室内无需添加任何润滑液或工作液。
在转子旋转过程中,转子和外壳之间的气体被传输到前级泵中。
优化的气密性,适合中真空和高真空应用
可靠
结构坚固,在不同的运行条件下十分可靠,密封防漏,并配备阻隔气体连接件
性能出色
可选版本,防止粉末和颗粒沉积,出色的容积效率,高极限压力,可将真空系统的性能提高十倍,集成旁通阀,专为满足中真空和高真空(包括半导体工艺)应用而设计,轻质中空转子,与传统转子相比,能耗更低,振动更小,加速更快
灵活
可以直接通过法兰连接到系统中的任何位置,提升所有类型的前级泵的性能,纵向或横向排放
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