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Busch 普旭 RANGU DF 1000-2800 A扩散泵
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产品链接: RANGU DF 1000-2800 A扩散泵
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扩散真空泵
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RANGU 是扩散真空泵系列, 它们是专门为工业高真空应用而设计, 其中包括玻璃镀膜装置、真空炉、金属镀膜、物理气相沉积 (PVD)、表面处理或薄膜镀膜等应用。
RANGU 扩散真空泵依据久经考验的蒸汽原理运行, 即使在恶劣的条件下也具有出色的可靠性。
工作原理
RANGU 扩散真空泵的基本部件是一个底部可加热的圆柱形泵组, 油被用作液体并被加热。油液蒸汽升至喷嘴系统中, 然后经过数级蒸汽处理,油液在高压下被排出系统。
工艺气体分子被这些蒸汽收集,并继续向前级泵的出口输送。油蒸汽在水冷真空泵机组的内表面凝结,并被导流回底部。
坚固可靠的高真空发生器。
性能出色
专为所有工业高真空应用而设计,例如:玻璃镀膜、真空炉、金属镀膜,在各种条件下均具有稳定的高抽速,进气压力 ≤ 10-3 hPa (mbar)
可靠
结构坚固,非常适用于严苛的加工工艺,几乎免维护
静音
低噪音,低振动