深圳市恒运昌真空技术股份有限公司是国内领先的集成电路装备核心零部件整体解决方案商，是“专精特新”小巨人，国 家级高 新技术企业及广东省制造业单项冠军企业，是中国科协“科创中国”射频开关电源创新基地和广东省射频开关电源工程技术中心依托单位。公司已获得九十余项发明专 利授权，牵头起草了具有完全自主知识产权的全数字射频电源团体技术标准。2023年荣获中国集成电路创新联盟最高荣誉“IC创新奖”。
        公司提供射频电源系统“卡脖子”技术产品，于国内率先突破全数字射频电源技术瓶颈，产品整体性能达到同一节点国外同类产品的技术水平，填补了国产射频电源系统在高端集成电路装备上应用的空白，补齐了集成电路制造产业链高端等离子体射频电源系统长期依赖进口的短板，助力集成电路产业自主可控和升级换代。
        恒运昌公司立志做集成电路装备核心零部件的领跑者，履行为国家集成电路与真空装备国产化贡献“芯”力量的使命。

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深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
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