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气体流量计

品  牌:七星华创
咨询电话:010-64362925

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控制方式
US700型产品兼容数字模拟控制方式,客户可以根据需要选择控制信号方式,产品支持数字控制和0~5V电压控制。当客户选择了其中一种控制信号,其他控制信号将被系统自动屏蔽。而流量检测信号则通过数字方式和0~5V电压同时送出,互不影响。更多细节请参考产品附带光盘中的“US系列MFC通讯协议”。

调零
客户可以通过调零来修正流量计的零漂。在调零以前,客户需要首先确认产品没有气体通过,然后通过软件命令或者调零按钮进行调零操作,如果采用调零按钮的方式,确认按下调零按钮长于5秒,直到LED绿色指示灯闪烁,即可松开。调零过程完成后,LED绿色指示灯将停止闪烁。

软启动
US700型产品支持软启动功能。软启动是指客户根据需要,按照一定的斜率改变MFC的设定。更多细节请参考产品附带光盘中的“US系列MFC通讯协议”。

延迟
当设定点低于最小可控值(2%F.S.),MFC将关闭控制阀;当设定值大于最小可控值,MFC将等待延迟时间后再开始调节。客户可以设定该延迟时间,延迟时间值表示MFC将延迟的毫秒数,例如设定延迟时间为200,MFC将延迟200ms再开始调节工作。

特别规定:当延迟时间值为1到49时,MFC将默认为100ms以后开始工作。


 
阀控制
US700型产品支持通过数字通讯或者模拟电压的方式直接关闭或者打开MFC的电磁调节阀。更多细节请参考产品附带光盘中的“US系列MFC通讯协议”。

阀类型
US700型 MFC的电磁调节阀分为常开阀和常闭阀两种类型。常开型MFC在不接通电源时,电磁阀为全开状态,气体可以流通;常闭型MFC在不接通电源时,电磁阀为关闭状态。因此用户在购买产品时应说明阀类型。

多气体多量程
US700型产品支持多气体多量程功能,客户可以根据自己的需要,更换MFC的气体,更换MFC的气体转化系数,客户只要将新的气体转化系数通过控制软件输入MFC即可,气体转化系数请参考附录中的转化系数列表。产品允许客户在一定范围内选择满量程,范围不要超过原始满量程的0.3~1.1倍。例如,一台原始满量程为100SCCM的MFC,可以选择的满量程范围不超过30SCCM~110SCCM。客户只要将新的满量程值(单位SCCM)通过控制软件输入MFC即可。

US700型产品支持客户零点(Target Null Value)功能。客户可以制定MFC/MFM的零点所在的真实流量值(%F.S.)。例如,设定Target Null Value为-20%F.S.,则当MFC/MFM没有气体通过的时候,其流量读数为-20%F.S.,当MFC/MFM通过的真实气体流量为20%F.S.,MFC/MFM的读数为0%F.S.。该功能不受调零、客户满量程等影响。客户零点的范围是-100%F.S.到100%F.S.。

更多细节请参考产品附带光盘中的“US系列MFC通讯协议”。

累积流量
US700型产品可以记录和输出通过MFC/MFM的气体流量累积值。累积值的单位为标准毫升(SCC)。例如累积值的读数为3000,则说明通过该MFC/MFM的气体已累积到3000标准毫升(SCC)。

更多细节请参考产品附带光盘中的“US系列MFC通讯协议”。

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