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微小气体流量计
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微小气体流量计

品  牌:七星华创
咨询电话:010-64362925
零售价
0.0
市场价
0.0
浏览量:
1000
产品编号
所属分类
产品大全
数量
-
+
库存:
0
1
品牌:
七星华创
区域检索:
北京
品牌类型:
上市品牌
产品分类:
测量分析检漏
品牌检索:
S
地址:
北京市亦庄经济技术开发区,文昌大道8号
官网:
http://www.mfcsevenstar.com/
特点:
产品描述
参数
产品参数

微小气体流量计用于对气体的质量流量进行精密测量; 它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、 环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括; 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光 纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
微小气体流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、 稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 微小气体流量计采用国际标准接头, 其操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。


 
微小气体流量计产品保证和保修
  1.本公司生产的MFC/MFM产品在出货两年以内,如果用户按照说明书要求使用,并且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新,我们保证产品的材料、加工和性能的质量,若有问题,免费维修
  2.用户收到货物后,有责任检查及核对货物,并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。
  3.保修期内,产品必须由本公司或授权的服务中心修理,否则,产品的保修是无效的。
  4.在两年保修期以内,维修是免费的。如果保修期过了,在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用。维修后,在90天以内对修理的部分进行保修,保修件包括易损件 (四氟或密封圈等)。
  5.用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品, 如果没有出示清除污染及净化处理的证明,本公司将不负责修理或保修。
  保修对使用的要求
  a.气体必须洁净且没有颗粒物, 没有液体, 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装<30μm 的过滤器。
  b.输入的气体压力必须符合产品的耐压标准,不能超过该产品要求的最大压力。
  c.产品的使用气体必须与用户订货选择的密封材料相适应, 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效,由于不正确的使用所导致的损害不能归咎于本公司。
  d.对电子线路的要求;必须小心按规定连接系统的接线, 不正确的接线会导致产品内部电路板的永久损坏。若自备MFC电源,需要电压波动小于5mV的高抗干扰稳压电源。
  e.气路的连接;必须仔细的安装密封管件, 保证所有的密封管件经过单独检查并且没有划痕。
  f.禁止自行拆开MFC/MFM。如果自行拆卸造成损坏,则本公司承诺的保修无效。
  
服务
  本公司的产品工程师将会帮助您解决关于操作、标定、机电连接、工作条件要求、气体转换等方面的问题。我们提供技术支持与维护, 提供产品的使用培训。

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