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The 10th China Semiconductor Equipment Annual Conference
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产品描述
参数
产品参数
DYC-JQ型系列电磁真空压差式充气阀，是安装在机械式真空泵上的专用阀门。安装于机械真空泵的进气口，并与泵同步开启和关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀门能依靠大气与真空的压差力使阀板自动关闭，将真空系统封闭，保持其真空度，并将大气通过阀的节流孔充入泵腔内，避免泵油返流污染真空系统。
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GQC型系列电磁高真空充气阀
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