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KA系列高真空油扩散泵是获得10-1~10-5高真空和超高真空状态的主要设备,其优点:高度矮、体积小、抽速大。新型KA泵采用内加热形式,在1.3×10-1Pa压力下仍有大的抽速,临界前级压力高。
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K系列高真空油扩散泵
KT系列高真空油扩散泵
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