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The 10th China Semiconductor Equipment Annual Conference
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产品描述
参数
产品参数
此系列阀门是安装在机械真空泵上的专用阀门，并与泵接在同一电源上，泵的开启与停止直接控制了阀门的开启与关闭，当泵停止工作或电源突然中断时，阀门能依靠大气与真空的压差力，自动将真空系统封闭，保持其真空度，并将大气通过阀的节流孔经泵进气口充入泵腔，从而避免泵油逆流污染真空系统。阀门动作过程中，只有极少量的气体充入真空室，因此影响真空腔的真空度是极其微量的，还具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点。阀门的介质为空气及非腐蚀气体。
主要性能指标：
适用范围：1×10-2a～1.2×105Pa
阀体和阀座漏率：<1.3×10-5Pa·L·s-1
首次保养循环次数：200，000次
周围空气温度：-25℃~50℃
安装位置：阀板密封面上端口接泵入气口
电源：交流220V 50Hz，15W
阀门开启或关闭时间：≤1s
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超高真空可调式插板阀
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