第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2020年学术年会
广东佛山  2020年11月26-28日
（正式通知）

        广东省真空学会、广东省真空产业技术创新联盟主办，佛山先进制造科学与技术广东省实验室（季华实验室）承办的第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2020年学术年会定于2020年11月26-28日在佛山市举办。会议主题为前沿新材料产业与真空技术应用。本次大会创新组织形式，设真空半导体装备与工艺、功能薄膜材料与器件、硬质涂层与表面工程、真空与半导体产业发展等专题，特邀十多位国内外著名专家和行业龙头企业做大会报告，交流真空技术在新材料产业领域的最新应用。热忱欢迎各位理事、会员、团体会员单位的代表以及省内外从事真空领域教学、科研、开发、生产的专家、学者、工程技术人员参加本次大会。现将大会有关事项通知如下：

一、大会组织委员会     
主席：刘彭义
委员：高  峰  李志荣  林松盛  潘振强  佘峻聪  苏东艺  沓世我  王启民
王小辉  吴  萍  姚若河  张  军  朱刚毅  朱建明  徐  平  唐振方
董厚明  李唯宏  卫  红  吴忠振  周志宏  陈文敏  代明江  何文财  
胡  强  黄现章  匡同春  乐卫平  梁凯基  李  炜  卢志坚  钱  锋 
魏佳坤  武文全  吴  猛  徐  刚  张树华  周伟杰  王  龙  李业淳

二、大会程序委员会
真空半导体装备与工艺专题
胡  琅[召集人]  佘峻聪  朱建明  高  峰  李志荣  潘振强  朱刚毅  武文全

功能薄膜材料与器件专题
谢伟广[召集人]  张  军  徐  刚  江绍基  唐新桂  涂  溶  沓世我  卢志坚  

硬质涂层与表面工程专题
王启民[召集人]  林松盛  匡同春  吴忠振  苏峰华  邹长伟  王  毅  苏东艺      

三、会议日程
会期为11月26-28日三天。11月26日（周四）下午报到注册，11月27日（周五）全天和28日（周六）上午开会，28日（周六）下午组织参观考察活动。

四、会议酒店与会议地点
会议住宿酒店为广东省佛山市南海保利皇冠假日酒店。需参会人员自行预订酒店房间，费用自理。订房联系人：欧经理 134-32674225。会议地点为季华实验室礼堂，与住宿酒店相邻。

五、会议内容
1.大会学术报告（特邀报告、邀请报告、会员报告与技术报告，共30多个）
◆量子计算与真空系统 （陈廷勇教授，南方科技大学）
◆基于真空电子学的太赫兹辐射源（宫玉彬教授,电子科技大学）
◆真空与半导体设备简述 (雷震霖研究员,中国科学院沈阳科学仪器研制中心)
◆电磁场增强的超高密度等离子体激励硬件设计及应用 (田修波教授,哈尔滨工业大学)
◆车用压铸模具抗侵蚀涂层工程应用研究 (夏原研究员, 中国科学院力学研究所)
◆团簇离子束平坦化在5G高像素光学部件超精密加工中的应用基础研究 (付德君教授,武汉大学)
◆磁控溅射与电致变色薄膜（刁训刚教授，北京航天航空大学）
◆极紫外光刻机若干关键真空技术（吴晓斌研究员，中国科学院微电子研究所）
◆仿生工程中的表界面行为研究及思考（郭志光研究员，中国科学院兰州化学物理研究所）
◆衍射波导显示器件--混合现实技术中的关键部件（李晓军研究员，国家纳米科技创新研究院）
◆非晶碳膜的PVD制备、应用及装备集成（郑军教授，安徽工业大学）
◆金刚石刀具涂层设计和力学性能研究（黄楠副研究员，中国科学院金属研究所）
◆SiC高温热处理设备及工艺应用 （李补忠副总裁，北方华创微电子装备有限公司）
◆高通量电子束光刻及检测装备前沿进展(佘峻聪教授,中山大学)
◆金属氧化物薄膜室温制备研究与应用（姚日辉教授，华南理工大学）
◆TiBN基纳米复合涂层制备及其性能研究（邹长伟教授，岭南师范学院）
◆闭合磁场的布局逻辑与作用（吴忠振副教授，北京大学深圳研究生院）
◆MOCVD装备制造技术（胡强副研究员，季华实验室）
◆纳米复合薄膜的设计与应用（黄继杰副教授，中山大学）
◆磁控溅射阴极的类型与应用（黄汉乐技术经理，英国真科公司）
◆半导体芯片工艺中真空系统的应用(义岚总经理,江苏联芯半导体科技有限公司)
◆高功率脉冲磁控溅射在微深孔镀膜上的应用（李志方副总经理，广东汇成真空科技股份有限公司）
◆基于国产化离子源的离子束微纳加工装备与工艺应用（刘伟基技术总监，中山市博顿光电科技有限公司）
◆新型磁控溅射镀膜技术在光学领域的应用开发 （陈旺寿技术总监，湘潭宏大真空技术股份有限公司）
2.广东省真空学会第六届理事会全体会议
3.第一届广东省真空科技创新奖颁奖典礼
4.第六届广东省真空科技青年优秀论文奖颁奖典礼

六、会议注册
参会报名：请登录南粤科创平台报名，准确填写参会信息。
网址：http://www.nanyuest.cn/meeting/meeting.aspx?key=9rsbvuwh&admin=1
或填写参会回执(详见附件一)发送到学会邮箱：gvsjnu@126.com。
会议注册费：

交费形式：汇款，或微信扫码交费，或现场交费（POS机）

汇款帐号信息：
开户名称：广东省真空学会 
开户银行：建设银行广州分行石牌支行
银行帐号：44001580502053008207
（汇款时请标注参会单位名称或参会代表姓名，发票在会议现场领取或会后邮寄）

七、会议征文
        会议征集与主题相关的学术和工程方面的研究论文和大会报告，并印发论文集。格式要求：A4 幅面；题目用四号黑体，单位和作者用小四号楷体；有摘要和关键词；正文五号宋体，1.5 倍行距；列出参考文献。请用 Microsoft Word 电子文档投稿，中英文皆可。会议论文集被中国工程技术图书馆馆藏和中国期刊网全文收录。作者可另投它刊，但需在投稿论文上注明“只收录摘要”。为鼓励青年学者和研发工程师参会并投稿，大会特设“第六届振华杯广东省真空科技青年优秀论文奖”，颁发证书及奖金。奖金总额15000 元，设一等奖 1 名，二等奖 2 名，三等奖 3 名。参评论文要求为全文，且未曾正式发表。 
        会议论文提交的截止日期为 2020年 11 月 10日。投稿邮箱：gvsjnu@126.com。

八、真空新产品新技术展览 
        本次大会设立多种形式的企业宣传环节，包括论文集广告插页[350 份单张]、大型展板、产品展台、产品资料派发、视频短片与 PPT 播放、晚宴活动组织、会议礼品、实物赞助等等。会议场地设备条件优良，欢迎有关企业在大会上作新产品新技术交流并赞助大会。详情请与会务组联系。 

        为了做好大会筹备工作，请提前报名，以便安排食宿和交通。没有预定房间和车位的参会代表，请自行安排。

 
联系人：刘彭义（020-85227066），唐振方（征稿，020-85224385-320）
朱汉明（财务，135-35208522），陈科球（会务，136-60308049） 
地  址：广州市黄埔大道西601号暨南大学理工学院   邮码：510632
电  邮：gvsjnu@126.com

广东省真空学会    广东省真空产业技术创新联盟  季华实验室 

2020年9月25日

附件一、参会回执表
附件二、参会交通指引
附件三、参观考察路线

附件一、第四届粤港澳真空科技创新发展论坛暨广东省真空学会2020年学术年会
参会回执表

报名咨询： 陈科球136-60308049  邮箱：gvsjnu@126.com 

附件二、参会交通指引
        佛山市地处粤港澳大湾区腹地，毗邻港澳，与广佛同城构成“广佛都市圈”，是中国乃至全球重要的制造业基地。佛山市制造业基础雄厚、实力强劲，一直坚持制造业立市、制造业兴市，是全国唯一的制造业转型升级综合改革试点城市。自2012年始，佛山财政投入巨资创建国家创新型城市，大力培育国家高新技术企业，支持企业建立研发机构，强化政产学研协同创新，建成广东国防科技工业技术成果产业化应用推广中心、广工大数控装备协同创新研究院、佛山智能装备技术研究院等一批新型研发机构。2018年启动建设先进制造科学与技术广东省实验室（季华实验室）。
        佛山市为国家历史文化名城，承袭浓郁古朴的岭南风情，现如今又绽放着作为粤港澳大湾区节点城市的创新活力。粤剧悠扬，功夫飒爽，山水怡人，美食饕餮。佛山南海保利皇冠假日酒店地处三龙湾高端创新集聚区文翰湖畔，环境优美，交通便利。

1.省内自驾及广州出发
        会议组在暨南大学（校本部）南门设有大巴接送从广州出发的参会人员，11月26日中午13:30准点发车，请有需要的参会人员提前与会务联系，预订车位，先到先得。自驾参会或搭乘地铁公交可方便前往。
2.广州南站 
        广州南高铁站离南海保利皇冠假日酒店约8公里，15分钟车程。可转乘市内交通前往酒店。
3.广州白云国际机场
        广州白云国际机场离南海保利皇冠假日酒店约50公里，80分钟车程。可搭乘广州地铁3号线至广州南站，再转乘市内交通。也可搭乘空港快线南海桂城线至南海桂城候机楼，再转乘市内交通。
4.佛山沙堤机场
        佛山沙堤机场离南海保利皇冠假日酒店约25公里，40分钟车程。可转乘市内交通前往酒店。

附件三、参观考察路线
        会议结束后，组织参会人员分团参观季华实验室、佛山国家高新区、佛山市佛欣真空技术有限公司等单位，并进行项目洽谈对接活动。请于会议报到注册时，选择参观路线，以便安排交通车辆。