真空设备专业委员会
名誉主任：岩下节生
主  任：  曾正明
副主任：  冯立成  郑 良  洪鸿明 俞 强  郑主安 费剑波  丁基敏  宋 俊 谢 卫
委  员： 杨建华 李建峰 薛 军 高 峰 潘铁宝 王伟平 陈珠献 施恩光 马锦妹 李宝祥 
高 岚 祁慧蒨  刘 刚 张前淞  戴 波 张 霖 邵明官 王芳芳 郑 超 夏荣祥 孟 进 申 龙 何日华 夏小龙 田 宏 陈瑞华 陈 坚 全 峰 
秘  书：  陆艳君
 
真空应用专业委员会
主  任：  惠泽民
副主任：  景加荣  苗润财  叶先红
委  员：许 红 严 英 陶小平 丁存喜 时海东 董 辉 刘 辉王金锁 王 鹏 刘长江 徐高翔 解星星 高 维 竹子川汪文建 任利民 宋申工 吴 浩 朱光华 董云宁 鹿启帅吴直昂 殷立新 王佳珍
秘  书：  杨翠玉
 
真空薄膜专业委员会
主  任：  莫晓亮
副主任：  陆 明 周 斌 卢红亮 魏 浩 蔡传兵
委  员：  杨春生 朴贤卿 孙 卓 方 方 杨淳宇 刘晓萌 褚家宝 戴秀海 王 骏 李 伟 吴丽君 吴建晶 刘树华 康红伟 钟 明
秘  书： 方 方
 
真空冶金材料专业委员会
主  任：  吕维洁
副主任：  徐 炜
委  员：  肖 旅 王风美 梁永 孙定波 王 雨 马凤仓 李九霄 王婷婷 李昌华
秘  书：  李九霄
 
真空电子与显示专业委员会
主  任：  李喜峰
名誉主任：张建华  赵 磊
副主任：  刘卫丽 唐志宏
委  员：  陈凌云 张哲娟 苏翼凯 徐宏林 王 群 方子祥 马尚忠 王 昭
秘  书：  殷录桥
 
真空冷却保鲜与冻干专业委员会
名誉主任：孙企达 陈 德
主  任：  雷海斌
副主任：  郑效东 许 凤 薛吉强 任尚瑾  
委  员；  张征宇 邵 进 陈剑云 陈 涛 周志钢 胡俊峰吴艳玲 陈文洁 申文玉 魏金宝
秘  书：  孙洪涛