王光玉
(中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司，沈阳110179)

        摘要：近年来，随着新兴产业的快速发展和传统行业的升级加速，干式真空泵的需求旺盛，国内真空行业出现了数量众多的干泵制造企业，真空干泵的发展迎来了井喷式增长时期。与此同时，干泵应用范围越来越广，应用环境也越来越复杂，例如：在大腔体上的大气载抽气，在水蒸汽、氢气、氦气、易燃易爆及腐蚀性气体等介质环境工作，同时应用企业对可靠性、一致性、适用性及节能减排要求越来越高。针对上述要求，本文主要从真空干泵产品的工艺适用性、可靠性和经济性三个方面来介绍技术对策。从应用出发，真空干泵的工艺适用性是针对用户需求进行开发和产品制造的基本出发点，也是国内设备厂商与国外技术差距产生的源头。研发应该对应用工艺进行详细的调研和配合，杜绝闭门造车。国内真空厂家应发挥主场优势，进行差异化竞争。同时，干泵可靠性是一个系统性工程，而可靠性测试是实现干泵可靠性的最重要的保证，包括整机和关键零部件的寿命、振动、噪声等一系列测试。干泵运行经济性，则是实现干泵产业化、商业化及市场化的必要条件。总的来说，提高干泵产品的工艺适用性、可靠性和经济性是一门理论与实践相结合的综合技术，不仅仅依赖于某个环节，需要整个干泵产业链的上下游企业共同关注与提高。

1 基金项目：“十一五”国家科技重大专项（2009ZX02014）

2 会议报告人简介：王光玉（1973-），研究员、副总工程师，现任中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司副总工程师，兼任真空干泵事业部部长。主要从事真空获得设备、真空应用设备及高档真空部件的研制开发工作。近年来，承担国家科技重大专项、国家科学仪器重大专项、863 课题、辽宁省重大专项等课题20余项，获得国家专利30 余项，发表论文30 余篇，主持起草3 项行业标准，研究成果涵盖真空设备技术与工艺、真空热处理及金属材料表面处理等多个领域，主持完成了真空涡旋干泵、爪式干泵和阀门等15 项新产品的研发和产业化工作，填补多项国内空白。担任中国真空学会真空工程委员会委员、真空冶金委员会委员，真空技术装备国家工程实验室理事，全国真空技术标准化技术委员会（SAC/TC 18）委员，多次受邀出席学术会议并做大会报告。联系方式：（Tel）024-23826803，（Email）wanggy@sky.ac.cn