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针对高/低温制程,Busch普旭最新的真空解决方案来了!

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针对高/低温制程,Busch普旭最新的真空解决方案来了!

针对高/低温制程,Busch普旭最新的真空解决方案来了!
  • 分类:市场动态
  • 作者:普旭真空
  • 来源:
  • 发布时间:2020-07-16
  • 访问量:

        2020年6月27–29日,半导体及平板显示行业的首展——SEMICON/FPD China2020在上海新国际博览中心成功举行。
        作为 Busch普旭今年在全球参加的第一个展会,Busch普旭不仅以结合全新CI设计的展台亮相。同时,也在现场向大家展示了全新适用于高温制程工艺的真空解决方案。


        Busch普旭2020年全新推出的COBRA DS1200A干式螺杆真空泵适用于气体温度超过250℃的严苛工艺。
        高性能:先进的螺杆设计、卓越的运行品质、集成的罗茨泵,完美适用于太阳能、平板和半导体应用,以及需要高温气体的严苛工艺,如刻蚀和化学气相沉积,极佳的粉末处理能力配合tantal涂层的螺杆使其更适用于众多严苛应用
        高效:成本低、维护工作量少、保养周期及正常运行时间长、抽氢能力强、能耗低、可变温控制
        结构紧凑:一体化设计,罐式电机、前级泵和罗茨泵直接安装在紧凑的基架上,振动值低

 

        同时,对于极具挑战性工艺中的低温制程,Busch普旭全新的COBRA BC 1200 A干式螺杆真空泵也可以在气体温度低于 80℃ 的工艺中游刃有余。
        高效:成本效益高、正常运行时间长、节能
        维护简易:先进的螺杆设计,采用无油和无接触技术,维护间隔长
        静音:噪音等级<62 dB(A)


        欲了解更多内容,请发送邮件至info@busch-china.com 或关注普旭官方微信公众号。

普旭真空设备国际贸易(上海)有限公司
普旭真空技术(上海)有限公司  
市场部

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