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查良镇教授

  • 分类:人物专栏
  • 作者:中国真空网
  • 来源:
  • 发布时间:2020-07-14 10:07
  • 访问量:

【概要描述】

查良镇教授

【概要描述】

  • 分类:人物专栏
  • 作者:中国真空网
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  • 发布时间:2020-07-14 10:07
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清华大学电子工程系教授、博导、中国真空学会质谱与检漏专委会荣誉主任
清华大学电子工程系真空教研组主任、荣获2004年度“真空科技成就奖”
性别: 男
出生年月日: 19370714
毕业学校: 清华大学 
学位: 本科
政治面貌: 中共党员
工作单位: 清华大学电子工程系
工作职务: 清华大学电子工程系学术委员会委员
曾任重要工作职务: 清华大学电子工程系真空教研组主任
专业职称: 教授 
专业职称评定单位: 清华大学
主要学术团体职务:中国计量学会测试专委会主任
曾任学术团体职务: 中国真空学会质谱与检漏专委会主任
代表性著作:
① 《论表面分析及其在材料研究中的应用》,科学技术文献出版社, 2002 ,部分章节 
② 《现在分析技术》 , 清华大学出版社出版, 1995 ,部分章节

代表性论文:
姜志雄 ,查良镇, M.Schuhmacher等,铝镓砷中硅delta掺杂的SIMS分析,真空科学与技术, 1995, Vol.15, No.2, 122

查良镇,邹庆生,王有政等,复杂多层结构的二次离子质谱定量深度分析,清华大学学报 ( 自然科学版 ) , 1997, Vol.37, No.4, 14

刘宇清等 ,查良镇等,新型小飞行时间质谱计的研究,真空科学与技术, Vol.18, No.4, 239 ( 1998 )

Xu Sheng , Hou Xiaobo , Fan Chuizhen , Zhao Lai and Cha Liangzhen , Reactive Dual Magnetron Sputtering Technology for Oxide Dielectric Film Deposition , Technical program of IUVSTA-15 , AVS-48 and ICSS-11 , San Francisco , Oct. 28~Nov. 2 , 2001 , P. 147

Ge Xin , Gui Dong , Chen Xu , Cha Liangzhen , O. Brox and A. Benninghoven , TOF-SIMS Depth Profiling of SIMON , Presented at the 13 th International Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry and Related Topics ( SIMS XIII ), Nov. 11~16 , Nara , Japan , to be published on Applied Surface Science

阿尔弗来德·贝宁豪文 查良镇, 飞行时间二次离子质谱-强有力的表面、界面和薄膜分析手段 ,真空, 2002 年 No.5 , p10-14

CHEN Xu, CHEN Ping, ZHANG Qiliang, LIU Qingmin and CHA Liangzhen, A Compact Leak Rate Calimation System for Both Pressure and Vacuum Modes , Presented in AVS 49 th International Symposium, November 4-8, 2002, Denver, Colorado, USA

CHEN Ping, CHEN Xu, JIN Qiji, and CHA Liangzhen, An Ultra-sensitive Leak Detection System and Its Calibration , Presented in AVS 49 th International Symposium, November 4-8, 2002, Denver , Colorado , USA

真空文学作品:
《多级冲击器压强分布计算及实验验证 Calculation and verification of pressure distribution for the cascade impactor》
《标准漏孔的校准》
《用当代飞行时间二次离子质谱分析航天器污染》
《气溶胶颗粒表面吸附气体的初步分析》
《正压漏孔漏率校准装置的研制》
《超灵敏度检漏和校准系统》
《多通道PM_(2.5)采样器的研制》
《二次离子质谱学的进展》
《中频反应溅射TiO_2时的Ti靶特性》

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