中国真空网 首页 新闻 市场动态 查看内容

十年磨一剑,七星流量计光伏行业砥砺前行

2018-11-26 15:44| 发布者: admin| 查看: 729| 评论: 0|来自: 七星流量计

摘要:    气体质量流量控制器,即Mass Flow Controller(MFC),可以对气体质量流量做精密控制。其作用是非常精确的控制进入腔体的载气和反应气体的单位时间内的流量,达成反应需要的混成比例,从而保证在晶圆表面生成需 ...

 

   气体质量流量控制器,即Mass Flow Controller(MFC),可以对气体质量流量做精密控制。其作用是非常精确的控制进入腔体的载气和反应气体的单位时间内的流量,达成反应需要的混成比例,从而保证在晶圆表面生成需要的分布均衡和品质稳定的成分膜。因此,太阳能电池片制造行业对质量流量控制器有着巨大的使用需求。
在太阳能电池的生产设备中,气体质量流量控制器是对气体进行测量和控制的核心零部件,在电池片生产的工艺过程中,很多工艺例如扩散、PECVD等关键工艺,都要求对气体进行严格的控制,因此气体质量流量控制器在此类设备中具有重要的作用。


        2006~2010年,国内的光伏发电项目快速走向市场化,装机容量保持每年100%以上的增长。随着各项利好政策的推出,国内光伏装机总量和增长速率都快速增长;世界每年新增的装机量中,中国所占的比例越来越重,逐渐成为光伏发电大国。随着光伏行业的不断发展,光伏设备市场不断扩大,对于气体质量流量控制器的需求也会随之快速增长,当时,设备上使用的MFC还大都是进口产品,这些进口产品价格高、供货周期长、售后服务不及时、零部件昂贵……,中国的光伏设备企业有口难言。
为了打破国外垄断性的局面,作为国内第一家生产气体质量流量控制器的七星华创,从2006年开始投入大量人力、物力、财力研发高性能的适用于泛半导体行业的气体质量流量控制器,通过两年的研发攻关,在2008年正式推出CS系列数字式气体质量流量控制器,CS200拥有自主知识产权的高端数字气体质量流量控制器,这一产品打破国外的垄断,填补了国内高端流量控制器的空白。

        CS系列气体质量流量控制器/流量计是一种可以对多种中小流量气体质量流量的精确测量和控制的设备。该产品具有精度高、响应速度快、密封性好、耐腐蚀、低零漂和温漂、使用方便等特点,适用于8英寸半导体IC生产线、高真空设备等需要数字质量流量控制器的领域,改变了我国数字质量流量控制器完全依赖进口的局面。
CS系列产品采用了国际领先的技术,申报获得42项国家专利,3项PCT专利。

CS系列产品的主要有三大创新技术,具体如下:
一、恒功率传感器技术
        在CS系列产品中,采用了一种全新的恒功率式传感器技术,其主要原理是自动反馈电路会自动检查通过传感器绕组的电阻值,增加或者减少提供给绕组的能量,这样就保证绕组的消耗能量不变。这样传感丝、传感管以及通过传感管的气体,均工作在恒定的环境下,各项特性保持不变,从根本上抑制了流量计的零漂现象,同时大幅度提高了系统的测量精度、响应速度等多项性能指标。

二、数字传感器平衡技术
        在CS产品中,结合恒功率的传感器驱动方式,提出了一种数字式传感器平衡方法,并可以采用256连续电压对传感器驱动电压进行温度补偿。该方法极大地提高了CS产品传感器对于温度漂移的抑制。使得CS产品可以应用于温度剧烈变化的环境。

三、VCP的阀控技术
        CS产品中的阀控技术具有多项创新成果,统称为VCP(Valve Correct Pedestal)。该项技术从传感器特性出发,建立传感器的动态响应模型。然后基于该模型,对传感器信号进行处理,提高信号反馈。同时机械部分采用了国际流行的反向进气结构。该结构阀内部的气体死驱空间少,阀响应速度快,无磁滞现象。
CS产品与国内同类产品相比,技术性能完全不输于进口产品,有了产品,七星流量计充满信心地进入了这个充满机遇与挑战的行业,当年将该行业设为战略行业,并在区域销售的基础上首次设立泛半导体行业销售。

        面对光伏行业,一方面公关设备类客户,另一方面找来光伏行业名录,一家一家筛,认真就所有的终端客户进行产能排名,最终将前20家列出作为我们的目标客户,逐家走访,展示新产品,讲解产品的特点以及与光伏行业的匹配性,并提供产品免费试用,在试用过程中,对七星的产品慢慢认可,开始购买七星流量计的产品替代之前机台上的进口产品,光伏行业在2011年的时候迎来了爆发式增长,七星流量计看到了希望,随之,也迎来了在这个行业迎来第一次销售高峰,但是由于光伏市场火热,设备类企业不差钱,进口的流量计产品销售数量也再创新高,七星流量计的市场占有率依旧不高。

        美国商务部于2012年10月11日公布的对华光伏“双反”终裁结果显示,凡出口到美国的中国光伏产品必须缴纳18.32%~249.96%的反倾销关税,以及缴纳14.78%~15.97%的反补贴关税,远远超出中国光伏行业能够承受的范围。一时间光伏预冷,开始进入“寒冬”时节,扩产停止了,上线停止了,很多电池片厂商也只留下部分车间继续,流量计在光伏行业订单急剧下降,这时候,在这个骤冷的行业,是坚持还是放弃?面对这样的形势,七星流量计分析了光伏行业的趋势,怀揣着对光伏行业光明未来的信心,选择坚持,并投入更大的力度,
光伏行业厂商经历骤热骤冷的境遇,冷静下来,开始思考怎么提升生产效率,怎样优化生产成本,怎样选择更合适供应商,终端厂商在这个时候给了七星流量计更多验证机会。
七星流量计珍视每一次试用机会,销售工程师、技术人员在客户现场面对面沟通,及时发现问题,解决问题,并根据客户解决问题及时性的需求,借鉴集成电路行业的服务经验,专门设立了光伏行业的驻厂工程师,通过驻厂工程师定期走访排查问题,防患于未然。

        在服务升级的同时,产品性能方面,也得到了几家终端客户发来的好消息,在其使用的PECVD设备上,七星流量计产品使用与进口品牌并无差距,而且在硅烷和氨气的气路上,七星流量计的故障率远低于某进口品牌,这一切更加坚定了七星流量计对这个行业的信心。

        随着七星流量计的应用越来越稳定,越来越多的客户开始走出了对进口产品的迷信,相信中国也能生产出好产品。

        冬天过去了,春天还会远吗?光伏行业经过一场洗礼,2016年开始,得益于扶贫光伏、领跑者计划、全民光伏(工商业及其他)等政策,促使需求全国性爆发,中国光伏市场再次崛起。七星流量计在该行业的订单接踵而来,终端客户信得过,设备厂商也认可,在设备上线之始,不约而同选择了七星流量计,近10年的市场开拓,打开了光伏行业的应用之门,获得客户的认可,销售数量逐年上涨,市场占有率也再创新高,2018年截止目前在光伏行业新上项目的占有率超过80%。

        路漫漫其修远兮,吾将上下而求索,不忘实现设备核心部件国产化的初心,牢记做最好的中国气体流量计的使命,七星流量计将继续在光伏行业砥砺前行。


鲜花

握手

雷人

路过

鸡蛋
返回顶部