中科仪10月20日发布对外投资公告，拟使用自筹资金实施集成电路干式真空泵扩产项目，项目投资规模为42,313.48万元，建设期3年。该议案已于10月19日经公司第五届董事会第二十六次会议审议通过，尚需提交股东会审议。公告显示，本次交易不构成重大资产重组，也不构成关联交易。

　　根据公告，本项目实施主体为中科仪及中科仪(南通)半导体设备有限责任公司。其中，中科仪及上海分公司拟投资19,144.70万元，中科仪(南通)半导体设备有限责任公司拟投资23,168.78万元。

     项目拟在沈阳、南通及上海三地实施：沈阳和南通主要围绕集成电路干式真空泵开展产业化扩产建设，通过新建加工中心厂房、新增及升级生产、装配、检测测试等相关设备和设施，提升干式真空泵规模化生产能力；上海分公司则主要围绕干式真空泵相关零部件加工制造环节，通过新增机械加工、检测、清洗及自动化等设备，提升核心零部件加工制造能力。

    据了解，中科仪所属半导体专用设备制造行业，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售并提供相关技术服务，产品覆盖集成电路刻蚀、CVD、封装测试等核心制程，是国内干式真空泵领域的龙头企业。2026年上半年公司实现营业收入6.23亿元，同比增长8.52%；归属于上市公司股东的净利润18.39亿元，同比增长1229.96%。