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中国真空学会薄膜专委会四十年发展大事记(1985-2025)丨深耕薄膜四十载 创新引领新征程

 

    “第十七届全国薄膜技术学术研讨会”于2025年11月14日至16日在深圳市南山区举行。本次会议将研讨、展示近两年来我国薄膜材料科学与技术的最新成就,邀请在薄膜技术研究领域有资深造诣的专家到会作学术报告,此次会议将同期举办中国真空学会薄膜专业委员会成立40周年纪念活动。



 

 中国真空学会薄膜专业委员会简介 

       中国真空学会薄膜专业委员会成立于1985年2月,是经第二届中国真空学会常务理事会同意,并报请中国科学技术协会批准,经民政部依法登记的社会团体分支(代表)机构。接受业务主管单位中国真空学会和社团登记管理机关民政部的业务指导和监督管理。

       中国真空学会薄膜专业委员会的目标是组织和促进薄膜科学与技术领域的各种学术交流、科学普及、书刊编辑、展览展示、咨询服务。积极推动真空与薄膜科学与技术领域的学科发展,加强薄膜科学与技术研究成果的普及和应用,促进薄膜科学与技术人才的成长,服务于国家的经济发展和现代化建设。

       中国真空学会薄膜专业委员会热诚欢迎从事有关薄膜科学与技术行业的生产、科研、教学、经营及应用的单位和个人加入专委会,共同为中国的真空事业和薄膜科技发展作出贡献。


 

 薄膜专委会的组建 

       随着党的十一届三中全会召开,改革开放的方针的贯彻,科学春天的到来,国内自然科学领域的学会相继恢复学术活动,1979年10月在甘肃兰州中国真空学会宣告成立,并陆续建立了各个专业委员会。1980年12月学会常务理事会开始酝酿举办薄膜技术学术交流会,1981年12月中国真空学会常务理事会决定由真空在电子器件中应用专委会、真空获得专委会、真空冶金专委会及北京等离子体学会联合发起,时任真空在电子器件中应用专委会主任袁磊同志为协助筹办做了不少工作,并委托北京仪器厂筹办“首届全国薄膜技术学术讨论会”,为薄膜专业委员会的筹建打下了组织基础。

       经过紧锣密鼓的半年的筹备,于1982年6月“首届全国薄膜技术学术讨论会”在北京隆重召开,得到广大科技界、企业界人士积极响应和支持,参加会议的有22个省、市、自治区15 个系统,163个(科研、院校、企业)单位,代表311人。为薄膜专委会的组建奠定了坚实的基础。1983年10月在南京召开的第二届中国真空学会常务理事会第一次会议,并报中国科协请示批准,正式同意筹建薄膜专业委员会。根据中国真空学会二届二次常务理事会会议的决议,要求在1984年内成立薄膜专业委员会。并委任董元昌同志担任主任委员,杨开春、冯银宝同志担任副主任委员。1984年8月在北京仪器厂召开了“中国真空学会薄膜专委会筹委会工作会议”。确定了薄膜专委会的组织机构和推荐专委会委员、秘书候选人名单,提交专委会成立大会通过;决定了薄膜专业委员会成立大会暨第二届薄膜技术学术讨论会的召开时间、地点、规模、经费安排和筹办单位;并确定了论文征集内容和范围。

       1985年2月在北京召开“薄膜专业委员会成立大会暨第二届薄膜技术学术讨论会”。来自全国二十四个省、市、自治区,十七个部门159个单位336名代表参加了会议。中国真空学会理事长华中一;名誉理事长金建中、副理事长达道安;秘书长高本辉;中国真空学会真空测量与校准专业委员会、真空科学技术普及和教育委员会;真空在电子器件中应用专业委员会;学会办公室、真空科学与技术编辑部、真空与低温编辑部等发来贺电或贺信。会议期间通过单位推荐、民主协商,决定由董元昌主任等21名委员组成第一届中国真空学会薄膜专业委员会。


 

       本次会议由真空在电子器件中应用专委会、真空获得专委会、真空冶金专委会及北京等离子体学会共同发起,得到广大科技界、企业界人士积极响应和支持,参加会议的有22个省、市、自治区15个系统,163个(科研、院校、企业)单位,代表311人。会议共征集到论文266篇,论文中有关于蒸发工艺、设备及其应用文章185篇(热蒸发技术45篇、溅射技术32篇、离子刻蚀33篇、CVD技术38篇、离子镀膜技术15篇、离子注入9篇、应用23篇),薄膜生长与结构的研究26篇,薄膜性质32篇,薄膜参数测量与控制21篇,综合性文章4篇。

会议上,对今后加快发展我国薄膜技术提出了建议。

 首届薄膜技术学术讨论会刊登北京科技报

 首届薄膜技术学术讨论会论文摘要集


 

       来自全国二十四个省、市、自治区,十七个部门159个单位336名代表参加了会议,发表论文218篇。中国真空学会理事长华中一;名誉理事长金建中、副理事长达道安;秘书长高本辉;中国真空学会真空测量与校准专业委员会、真空科学技术普及和教育委员会;真空在电子器件中应用专业委员会;学会办公室、真空科学与技术编辑部、真空与低温编辑部等发来贺电或贺信。会议期间通过单位推荐、民主协商,决定由董元昌主任等21名委员组成第一届中国真空学会薄膜专业委员会。

 第二届薄膜技术《学术讨论会》论文摘要集

 谭宁秘书长手写工作总结

       本次会议由中国真空学会薄膜专业委员会主办。1988年1月14日,薄膜专业委员会在北京成立临时筹备组,成员共8人,负责会议征文、参展事务及技术市场活动的协调。本次会议吸引了高校、科研院所、企业等多领域代表参会,覆盖薄膜材料的基础研究、工艺开发及产业化应用全链条,共256位代表参会,收集参会论文206篇。

       会议同步举办了薄膜相关设备与材料的展销活动,促进产学研合作。搭建了技术转让与需求对接平台,推动薄膜技术从实验室向工业应用的转化。此次会议是20世纪80年代末中国薄膜技术领域的重要里程碑,不仅推动了学术交流,还为后续薄膜技术在半导体、新能源等产业的应用提供了关键支撑。武汉作为会议举办地,促进了武汉地区薄膜研究的集群效应,逐渐成为国内薄膜科研与产业化的重要基地。

 第三届真空薄膜技术学术讨论会论文集


 

       由中国真空学会薄膜专业委员会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国机械工程学会气相沉积技术委员会、中国电子学会电子材料学学会、中国物理学会表面与界面科学学会、中国电子学会半导体与集成化技术学会、中国电子学会量子电子学与光电子学学会等共同发起,于1991年9月20日至9月25日在北京首次联合召开 TFC'91 全国薄膜学术讨论会。来自全国各地的大专院校、科研院所、企业等部门的薄膜技术专家、学者及科研工作者、工程技术人员共330人参加了会议。收到报名论文314篇,本次会议录用论文216篇,其中专题报告22篇。会上宣读论文155篇。并邀请了国外专家,德国 LEYBOLD 公司 Moll 先生、日本松下电器和佐清孝先生、日本真空超材料研究所所长冢原园子女士、日本福山大学的植松滋幸先生、美国 Multi Arc 公司的 Coll 先生等到会分别作了学术报告。

       会议自始自终充满浓厚的学术气氛,热烈讨论。主题围绕着表面科学与材料、薄膜科学与技术。论文涉及到光学,电子学、微电子、半导体、机械、冶金、航空航天、化工、轻工、建材、能源等部门,几乎渗透到国民经济各个领域。论文既有理论研究成果,又有实际应用;既有综述评论,又有专题报导;既有广度,又有深度。会议内容丰富,是至今为止最大的一次全国性薄膜学术会议。尤其有关光学膜、电子膜、硬质膜、磁光盘等方面论文受到与会代表的广泛兴趣,同时表明目前薄膜技术最近发展和展望,反映了当前薄膜研究、开发、生产以及产业化等各个方面的现状,具有较广泛的代表性。薄膜技术博得了学术界越来越显著的重视和产业界越来越普遍的兴趣。不少代表反映本次讨论会开阔了视野,活跃了思想,促进了学科之间交叉发展与相互渗透。

 

       由中国真空学会薄膜专业委员会、中国真空学会半导体与集成技术学会、电子材料学会、量子电子学与光电子学学会、中国物理学会表面与界面科学学会、中国机械工程学会气相沉积技术委员会、中国材料研究学会等八个学会联合主办,北京仪器厂承办的“TFC'95 全国薄膜学术讨论会”在北京成功召开。来自全国各地的专家、学者及科技工作者、企业代表等160余人参加了会议。

       大会特邀报告和征集论文共90余篇。会议期间进行了22篇大会专题学术报告,安排代表参观了“95国际真空设备仪器与应用新产品交流展示会”,组织了两个分会场的学术论文交流,还分别安排了日本真空株式会社产品介绍和薄膜产业化研讨会。

       在近80人参加的薄膜产业化研讨会上,代表们结合国内近年来幕墙玻璃、冷反光碗、多弧离子镀等薄膜产品与薄膜设备发展过程中的经验、教训和存在问题交换了意见,对今后薄膜产业化发展中应该重视与解决的一些问题提出了不少有益的看法和建议。特别强调要注重薄膜设备的产品质量和可靠性,缩小与国外同类设备差距。振兴民族工业,要重视软件与硬件的结合,企业与院所的结合,要从各方面加以引导,尽量避免出现薄膜产业发展过程中一哄而起、大起大落的局面。


 

       来自各地薄膜技术界专家、科技工作者、企业家的代表115人参加了会议,会议由中国真空学会薄膜专业委员会主办,由深圳真空学会、豪威科技有限公司、亨达莱真空技术工程公司、波达超声工程设备有限公司、深圳科技工业园总公司等联合承办,与此同时举办了真空镀膜学习班。

       本次会议发表论文28篇,采用大会报告形式进行了交流。这是薄膜界又一次聚会,研讨会就薄膜技术近年来平板显示板、镀膜眼镜、印刷包装、集成电路等应用领城,及真空镀膜采用蒸发、磁控溅射、离子镀,离子束刻蚀、等离子辅助和化学气相沉积等技术上科研、生产的最新成果,广泛地进行了技术交流和学术研讨,与会代表认真听取了论文报告,对薄膜方面新成果表示了浓厚兴趣,会后也进行了交流,会议充满了学术气氛。

       开办真空镀膜学习班,由北京理工大学林永昌教授、北京仪器厂王怡德副总工程师分别主讲了眼镜片镀膜、大面积平板玻璃镀膜,深受欢迎,并解答了某些镀膜工艺中疑难的问题,学员们深感收益匪浅。

       随着改革开放的深化,国民经济的迅速发展,真空镀膜作为一门表面处理和材料科学技术在各个领域采用受到普遍重视,尤其是现代光学、电学、微电子学、纳米科学等在通讯、信息、能源、交通、建筑、家电等多方面都已渗透了薄膜技术的成果,对薄膜技术应用的需求具有越来越宽阔的市场,近些年来,薄膜的新技术、新材料、新设备、新工艺也在国民经济中发挥着越来越重要的作用,促进了各行各业在薄膜应用中大放光彩,取得了日新月异的进步,并形成了较大规模的生产。这次会议在薄膜产业已初具规模生产的深圳经济特区举行,引起了薄膜界的关注,也受到了薄膜界同行的积极支持,势必为我国薄膜技术发展、薄膜产业的兴班发法产生较大影响。

       借此,向给予会议大力支持的深圳真空学会、豪威科技有限公司、亨达莱真空技术工程公司、波达超声工程设备有限公司、深圳科技工业园总公司及深圳大学等表示衷心感谢,向为本次会议付出辛勤劳动的会务组人员表示感谢!


 

       由中国真空学会薄膜专业委员会主办,并由中国电子学会半导体与技术学会、电子材料学会、量子电子学与光电子学学会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国物理学会表面与界面科学学会、中国机械工程学会气相沉积技术委员会、表面工程技术委员会、中国材料研究会、中国仪器仪表学会工艺分会等九个学会协办的 TFC′99 全国薄膜学术讨论会于上海召开。来自全国22个省市自治区和港台的代表以及四家外国公司代表共180余人参加了会议。

       会议由中国真空学会常务副秘书长董元昌致开幕词上海真空泵厂厂长潘海扣、北京仪器厂厂长陶梦、南光实业有限公司总工程师靳毅、陕西省真空学会理事长郑德修分别作了热情洋溢的讲话。这是继 TFC′95 全国薄膜学术讨论会以来的又一次薄膜学术界和产业界的盛会。会议交流了四年来薄膜研究开发和产业化的最新成果。28位国内知名的学者、专家和国外厂家代表作了大会报告,另有40余位代表分五个分会场进行了小组专题报告‚并组织了两次有关薄膜学术和产业的现状与展望的专题座谈会。本次会议讨论的热点有:镀膜技术的新进展、离子束、等离子体的材料制备与改性、信息光电薄膜、纳米复合薄膜、金刚石薄膜等。与会代表还对我国薄膜产业的发展提出了许多有益的建议,如建议企业与院校、科研院所联合起来共同发展我国有知识产权的民族薄膜产业。还就“在薄膜技术中应用脉冲供电技术的现状与展望”以及“我国薄膜工业的现状与机遇”进行了专题座谈讨论。会议还邀请了原国务院外国专家局局长马俊如教授就“科学进步与经济发展”作了大会报告‚受到与会者热列欢迎。这是一次产学研结合的成功的会议。我们完全有理由相信此次会议的召开一定会对我国薄膜技术的产学研起到积极的作用。

       会议期间还召开了中国真空学会薄膜专业委员会扩大会议,对第三届薄膜专委会的工作进行了认真的回顾和总结与会代表对专委会四年来的工作给予了高度评价。通过推荐、自荐、单位委派等方式,并报中国真空学会批准,产生了新一届薄膜专业委员会。新的专委会由35人组成,其中第三届委员17人,新增委员18人。新一届专委会委员遍及全国各地区高等院校、科研院所、工业企业各个方面。新的专委会将为我国薄膜研究开发及产业化作出自己的贡献。


 

 

       TFC′03 全国薄膜技术学术研讨会由中国真空学会薄膜专业委员会主办,宁波市科技局、宁波市科技园、浙江大学、清华大学、北京北仪创新真空技术有限责任公司协办。本次会议聚焦薄膜材料的基础研究、制备技术、性能表征及工业应用,推动产学研结合,共226位代表参会,会议论文集收录120篇论文,涵盖纳米材料、光电器件、表面改性等多个方向,部分成果发表于《真空科学与技术学报》。


 

       TFC′05 全国薄膜技术学术研讨会由中国真空学会薄膜专业委员会主办,大连理工大学协办。本次会议主要包含薄膜材料制备、性能表征、工业应用及前沿技术探索,推动国内薄膜科学与国际接轨,共收到论文摘要106篇,共285位参会代表。


 


 

       TFC′07 全国薄膜技术学术研讨会由中国真空学会薄膜专业委员会、中国航天科技集团公司五院510研究所、表面工程技术国家级重点实验室等联合主办, 由中国电子学会半导体与集成技术学会、中国电子学会电子材料学会、中国电子学会量子电子学与光电子学会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国物理学会表面与界面科学学会、中国机械工程学会气相沉积技术委员会、中国材料研究会、中国仪器仪表学会工艺学会、中国机械工程学会表面工程技术委员会等单位协办。参加会议有来自全国二十多个省市自治区252名代表, 收到论文143篇, 出版了133篇论文摘要集。会议研讨、展示近二年来我国薄膜材料与技术的最新成就, 邀请了薛群基院士《润滑薄膜的制备与性能研究》、闻立时院士《薄膜技术若干前沿问题的述评》、薛增泉教授《裂解碳纳米管中的水》、潘峰教授《Co 掺杂 ZnO 稀磁半导体薄膜及其相关性能》、邱家稳研究员《薄膜材料在航天器热控上的应用》、韩高荣教授《二氧化钛薄膜的 CVD 制备及其掺杂、复合和光催化机制研究》、董闯教授《脉冲偏压电弧离子镀基础问题及应用研究》、徐可为教授《纳米薄膜的介观尺度性能的实验表征》、李言荣教授《YBCO 高温超导带材研究》、孙云教授《薄膜太阳电池发展概况》、张群教授《新型 TCO/TOS 薄膜的研究进展》、陈延峰教授《压电 / 压磁声学超晶格材料及其声学效应》、刘卫国教授《复合氧化物薄膜的金属有机物化学汽相沉积技术》、范多旺教授《纳米二氧化钛单晶薄膜的制备及性能研究》、于广华教授《Pt 插层对 NiFe/FeMn 薄膜交换耦合的影响》、吴萍教授《均匀液滴喷射技术在合金涂层中的应用》、刘维民研究员《几种空间液体润滑剂的性能》、田修波教授《聚合物等离子体处理表面增阻研究》等多位在国内外薄膜技术研究方面有较高造诣的学者、专家到会作精彩报告, 还安排了四个分会场口头报告, 并组织参观了510研究所、兰州真空设备有限责任公司。本次会议是全国薄膜学术界、企业界又一次的盛会。

       邀请报告从不同角度论述薄膜技术的新进展, 新成果。内容涉及广泛, 有润滑膜、纳米膜、超导膜、透明导电膜、稀磁半导体薄膜、超硬薄膜、压电和压磁薄膜、薄膜太阳能电池等目前关注的热点问题, 引起与会代表的极大兴趣。尤其薄膜应用在环境保护、能源开发、信息技术、航天、国防等领域, 具有广阔前景, 深受与会代表关注。一些老同志反映: 学术交流换了一批新人, 代表了薄膜技术的新水平。本次会议邀请报告选题恰当, 水平高, 报告内容精彩。新一届专委会坚持了学术交流与产业发展相结合的方向, 深受广大代表的欢迎, 希望研讨会越办越好。

 


 

 


 

       由中国真空学会薄膜专业委员会主办、电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室承办的“TFC'09 全国薄膜技术学术研讨会”在成都电子科技大学拉开帷幕。来自全国的284位代表参加了会议。

       中国真空学会常务副秘书长、薄膜专委会副主任兼秘书长谭宁高工主持了开幕式。中国真空学会副理事长、薄膜专委会主任潘峰教授和电子科技大学微固学院院长李言荣教授在开幕式上致词。开幕式结束后,大会进行了13个特邀报告。中国工程院院士赵连城先生首先作了题为“红外光电薄膜材料与器件研究”的报告。赵院士重点介绍了量子阱和超晶格红外光电薄膜材料的优越性、GaAs/AlGaAs 量子阱红外光电薄膜材料的特点、“带隙工程”中量子阱红外光电探测器焦平面列阵的结构和 InAs/InGaSb 应变超晶格光电薄膜材料的特性及其在大面积红外焦平面成像器件方面的应用情况。第二个特邀报告由闻立时院士作,题目为“我国光伏产业发展的新阶段”。在报告中,闻院士论述了表面工程技术尤其是薄膜和涂层技术对光伏产业的促进作用,综述了国际和国内太阳能光伏产业的发展状况,分析了存在的问题,对金融危机下中国光伏产业的出路进行了探讨。他认为,真空薄膜技术将在太阳能光伏产业发展中发挥巨大的作用。在特邀报告中,北京航空航天大学材料科学与工程学院院长宫声凯教授作了“新一代 EB-PVD 叶片热障涂层研究”的报告。热障涂层是先进燃气涡轮发动机的高温热防护涂层,主要由陶瓷隔热涂层和金属粘结层(起抗高温氧化腐蚀和缓解热障涂层热应力的作用)组成。宫教授的课题组采用电镀的方法在高温合金 K403 上沉积一层 Ru,并采用电子束物理气相沉积方法(EB-PVD)在 Ru 上蒸镀一层 NiAl 涂层,最终通过扩散处理制得了 NiRuAl涂层。该涂层的开发为热障涂层研究提供了新的思路。

       《电镀与涂饰》杂志编委、广州有色金属研究院代明江教授介绍了有色院20多年来在真空喷涂和真空镀膜方面的研究工作及其今后的研究方向。目前,该所已经建立了抗高温氧化 NiCoCrAlYTa 涂层生产线,生产了抗高温氧化性能良好的涂层叶片。该涂层叶片发动机已经装备了我国部分飞机。

两年一度的薄膜会议,引起国内薄膜领域的专家、教授、学者以及生产、销售等领域人才的广泛关注。各真空设备厂家、检测机构也纷纷派员参加会议,在展览室展示了自己的产品。本次大会的论文集共收录122篇论文摘要,内容丰富多彩。


 

       “TFC'11 全国薄膜技术学术研讨会”和“真空科学与技术学报工作会议”在驰名天下的英雄城南昌召开了。“TFC'11 全国薄膜技术学术研讨会”由中国真空学会薄膜专业委员会主办,来自全国各地共200余人参加了会议,会议研讨、展示了近二年来我国薄膜材料与技术的最新成就,会议邀请薄膜技术研究方面有较高造诣的专家到会作了精彩报告。

       会议由中国真空学会副理事长、薄膜专业委员会主任潘峰致开幕词,南昌航空大学副校长罗胜联、北京北仪创新真空技术有限责任公司于天化总经理分别致辞。会议安排紧凑有序、形式多样、内容丰富。会议征集论文132篇,会上安排15位作了大会报告、九十多位代表分三个分会场进行了小组专题报告,第一分会场讨论的热点为表面改性薄膜、薄膜制备、表征技术,第二分会场讨论的热点为薄膜电、磁、电化学性能,第三分会场讨论的热点为薄膜光学、声学、热学性质,报告受到了与会者的热烈欢迎,这是一次产学研结合的成功的会议。我们完全有理由相信,此次会议的召开一定会对我国薄膜产学研起到重要的积极作用。

       会议期间还召开了中国真空学会薄膜专业委员会工作会议和真空科学与技术学报工作会议。

 


 

       近40人参加了会议。会议由薄膜专委会主办、深圳市真空学会和深圳大学物理科学与技术学院承办、广东省真空学会协办。会议由中国真空学会副理事长、中国真空学会薄膜专业委员会主任潘峰教授主持。

(1)研讨如何促进我国薄膜技术与薄膜产业发展,适应市场经济需要,开展新技术、新设备、新材料、新工艺及基础理论的研究。

(2)交流薄膜技术与薄膜产业目前新进展和动向。

(3)为两年一次的薄膜技术学术研讨会做准备,讨论2013年会议内容、时间、地点,推荐薄膜技术与薄膜产业有代表性的大会报告。

       会上潘峰、韩高荣、田修波、李争显就真空行业相关的国家十二五规划、产业政策及国内外的最新资讯;先进的玻璃镀膜技术;真空镀膜新设备、新方法及新技术等专题进行了宣讲。

       与会代表们踊跃发言、各抒己见,提出了很多好的建议和经验。会议得到了专委会委员陈子宇、周海军、苏东艺、罗志明的赞助。

       这次会议对于专委会各项具体工作有很强的指导意义。专委会将认真总结会上各位委员提出的建议和意见,争取让专委会的学术水平和质量有更大的提高,让学会建设更上一个台阶。


       来自全国各地共263人参加了会议,参展单位9家。本次大会会议安排紧凑有序、形式多样、内容丰富。会议有幸邀请到柳院士等专家做大会邀请报告,14位专家做分会邀请报告,会议征集论文170余篇,150多位代表分五个分会场进行了小组专题报告,与会代表们研讨,展示了近两年来我国薄膜材料与技术的最新成就,结合薄膜材料技术及其交叉领域内的热点问题,展开了广泛的学术探讨和技术交流,对进一步促进薄膜相关技术发展、开展相关领域双边和多边合作起到很好的作用。这么多年来,薄膜技术研讨会有力推动了我国薄膜和表面技术领域的发展。相信大家会在本次会议中收获丰富,通过互相交流,彼此促进、合作,薄膜技术研讨会已名副其实地成为我们薄膜界形及相聚、新朋友相交、学术交流的盛会。

       作为2013宁波新材料与产业化国际论坛的分论坛活动之一,部分专家会委员代表在宁波市江北区科技局局长楼可可,副局长黄敏等陪同下,分别参观走访了宁波企业和公司,与企业技术人员展开了讨论,并从前沿技术和行业发展角度提出了宝贵意见和建议。

       会后,部分参会代表们还参观了表面工程事业部、公共测试中心和成果展览室,重点结合中科院海洋新材料与应用技术重点实验室的研究内容进行了深入探讨和交流。

       来自全国100余个高校、科研院所、企业单位的252位代表参加此次会议。全国薄膜技术学术研讨会已经主办了30年,每两年召开一次全国大会。2015年的研讨会由中国真空学会薄膜专业委员会、中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会联合主办,华中科技大学和武汉理工大学承办。中国电子学会电子材料分会、中国电子学会量子电子学与光电子学分会、中国电子学会半导体与集成技术分会、中国光学学会薄膜专业委员会、中国物理学会表面与界面物理专业委员会、中国机械工程学会表面工程分会、中国材料研究学会、中国仪器仪表学会仪表工艺分会参与了协办。

       大会开幕式由会议组织委员会主席、华中科技大学缪向水教授主持。华中科技大学副校长骆清铭教授代表学校致欢迎词。他介绍了华中科技大学学科、科研等发展状况,并预祝研讨会圆满成功。中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会理事长、武汉理工大学教授赵修建,中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会副理事长暨中国真空学会薄膜专业委员会副主任委员、浙江大学教授韩高荣,中国真空学会刘锋秘书长等人应邀出席会议并致辞。中国真空学会薄膜专业委员会主任委员、清华大学潘峰教授随后做了“国家十三五新材料领域发展规划”的报告。

       会议围绕薄膜物理与理论基础、薄膜设计仿真与模拟、薄膜制备技术、薄膜测试与分析、薄膜新技术和新材料、薄膜技术新装备和薄膜技术应用与产业化等7个主题领域,与会代表分别作了10场精彩的大会邀请报告、72场分会口头报告。与会代表们研讨、展示了近两年来我国薄膜材料与技术的最新成就,结合薄膜材料技术及其交叉领域内的热点问题,展开了广泛的学术探讨和技术交流,对进一步促进薄膜相关技术发展和产业化、开展相关领域双边和多边合作起到很好作用。

       在会议期间,还召开了中国真空学会薄膜专委会会议和硅酸盐学会薄膜与涂层分会理事会议。并召开了新一届的中国真空学会薄膜专委会的成立大会,对前一届的专委会工作进行总结,同时对新一届的专委会工作进行讨论,并为新一届的薄膜专委会委员颁发了证书。中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会也进行了理事会换届会议。

 

 优秀论文获得者


 

       薄膜专委会2016年工作会议于9月6日至8日在新疆大学学术交流中心召开。近40人参加了会议。会议由薄膜专委会主办、新疆大学协办。


 

 

       2017年8月19-22日,TFC'17 全国薄膜技术学术研讨会在合肥召开。此次大会由中国真空学会薄膜专业委员会主办,合肥工业大学、安徽大学、稀土永磁材料国家重点实验室承办。本次会议吸引了来自全国100余所高校、科研院所、企业单位近240位代表参加,邀请了在薄膜技术研究领域有资深造诣的院士、专家到会作学术报告,旨在进一步推动薄膜技术研究和产业应用的交融。会议展示近两年来我国薄膜材料与技术的最新成就,成为薄膜技术学术研究和产业应用交融的又一次盛会。会议围绕当代薄膜科学与技术的展望,薄膜物理理论与技术基础,薄膜设计、仿真与模拟,薄膜制备技术,薄膜测试与分析,薄膜新技术、新材料,薄膜技术新装备,薄膜技术应用与产业化等8个相关主题领域,共举办大会邀请报告11场,分会口头报告85场。


       由中国真空学会薄膜专业委员会主办,浙江大学承办的第十五届全国薄膜技术学术研讨会(TFC'19)在浙江省杭州市隆重举行。此次研讨会吸引了来自全国各地高校、科研院所、企业单位的百余位专家学者参加。此次学术研讨会主要围绕:1、当代薄膜科学与技术的展望;2、薄膜物理理论与技术基础;3、薄膜设计、仿真与模拟;4、薄膜制备技术;5、薄膜测试与分析;6、薄膜新技术、新材料;7、薄膜技术新装备;8、薄膜技术应用与产业化等8个主题领域,进行了11场大会特邀报告、69场分会口头报告。

       此次研讨会展示了国内真空薄膜与涂层技术领域最新动态,结合薄膜材料技术及其交叉领域内的热点问题,展开了广泛的学术探讨和技术交流,将进一步促进国内薄膜相关技术的深入研发,给一线行业提供理论支持和未来发展方向,以推动薄膜技术行业领域发展和产业化。

 

 

       本次会议通过腾讯会议软件线上召开,会议由刘敏强秘书长主持,约60位委员代表参加。本次会议议题是汇报2020年工作总结、传达中国真空学会下发的工作安排及学习文件,探讨“十四五”薄膜技术的发展与应用,抓住发展新机遇,部署2021年第十六届全国薄膜技术学术研讨会的准备工作。

       会上薄膜专委会主任委员潘峰同志向大家表达了新春的祝福,对各位委员为专委会工作的支持表达了真挚的感谢,对委员在新的一年工作重点提出了新的要求,要立足“十四五”规划,站在新的历史节点,把握住新机遇、找准新方向、实现薄膜技术新发展。刘敏强秘书长向大家介绍了薄膜专委会2020年的工作进展,汇报了2021年的工作计划,传达了中国真空学会下发的工作文件。各位参会委员针对目前薄膜材料与技术的发展趋势,进行了充分发言,相互交流了最新的工作成果,探讨了薄膜技术发展的最新进展。最后初步确定,拟于2021年11月中旬在深圳召开第十六届全国薄膜技术学术研讨会,深圳大学协办。


       本次会议由中国真空学会薄膜专业委员会主办,清华大学承办。中国真空学会副理事长、薄膜专业委员会主任清华大学潘峰教授,北京市科学技术委员会、中关村科技园区管理委员会党组成员、副主任,共青团北京市委员会副书记龚维幂出席开幕式并致辞。清华大学、中科院纳米所、中科院兰州化物所、北京大学、中科院宁波所、510所等国内顶尖科研机构研究人员和领导200余人参加会议。本次会议展示了近年来我国薄膜材料科学领域的最新进展以及在集成电路、海工装备、航空航天、工程润滑等“卡脖子”技术上的应用和成果转化。数家真空装备制造企业还在会议现场展示了其研发的最新产品。

 

       此次会议汇聚了众多薄膜科学与技术领域的专家学者、企业家及行业精英,共140余位代表共同探讨薄膜技术的最新进展及产业化前景。

       中国真空学会薄膜专业委员会主任、清华大学教授潘峰致开幕词,对各位参会者的到来表示热烈欢迎,安庆市委常委、组织部部长李明月出席会议并发表讲话,怀宁县委书记余学峰主持大会并代表怀宁县四大班子向与会嘉宾表示诚挚的欢迎和感谢,怀宁县县委副书记、县长陈宏在大会上简要介绍了怀宁县县情及产业发展情况。

       在科研成果推介环节,多位专家学者和企业家分别就三维相变存储器芯片、金属3D打印在模具行业的应用、高温超导材料及应用等前沿技术进行了深入讲解和交流。这些科研成果的展示不仅彰显了我国在薄膜技术领域的深厚底蕴,也为未来的产业化应用提供了宝贵的经验和参考。

       会议还举行了签约仪式。怀宁县政府、县经开区管委会分别与中国真空学会薄膜专委会成员单位江苏集萃表面工程技术研究所、武汉嘉仪通科技有限公司等单位签订了合作协议,标志着双方在薄膜技术的研发、生产及应用等方面将展开更加紧密的合作。这一举措将进一步推动当地在薄膜技术领域的创新发展,为县域经济的高质量发展注入新的动力。

       会议期间,中国真空学会薄膜专业委员会召开了闭门会议,会议共70余位委员参加,薄膜专委会主任潘峰教授向与会代表介绍了专委会发展历程,选举出第十届薄膜专业委员会委员候选人。

       此次会议的成功举办,不仅为薄膜技术的研发与产业化搭建了重要的交流平台,也为推动地方经济的高质量发展贡献了智慧和力量。期待在未来看到更多薄膜技术的创新成果不断涌现,为我国的科技进步和产业升级做出更大的贡献。

 

 中国真空学会薄膜专业委员会向陈独秀墓敬献花篮

 

       “中国真空学会第十次会员代表大会暨2024学术年会-薄膜科学与技术分会”在西安交通大学(创新港区)泓理楼顺利召开。分论坛由中国真空学会薄膜专业委员会、清华大学、浙江大学与武汉嘉仪通科技有限公司联合承办。清华大学宋成教授、浙江大学任召辉教授、北京四海祥云流体科技有限公司刘敏强总经理、南开大学刘玮教授、陆军装甲兵学院蔡志海研究员、华中科技大学童浩教授、安徽大学何刚教授担任主持。与会的31位报告人分别从多层压电晶体复合材料构筑与射频滤波器性能提升、高功率脉冲磁控溅射沉积金属薄膜、涂层材料的设计与制备、太阳能电池材料与器件设计、铁电薄膜及器件应用等方面进行了探讨和交流。

       薄膜科学与技术分会每位报告人都围绕各自的研究内容与参会代表进行了深入的讨论交流,中国真空学会薄膜专业委员会主任宋成教授在认真听取了报告人的报告后做总结发言,诚挚感谢每一位报告人精彩的学术报告。中国真空学会薄膜专业委员会热忱欢迎从事薄膜科学与技术相关行业的专家学者加入专委会,共同推动真空与薄膜科学与技术领域的学科发展,加强薄膜科学与技术研究成果的普及和应用,促进薄膜科学与技术人才的成长,服务于国家的经济发展和现代化建设。

 


 

中国真空学会薄膜专业委员会伴随着薄膜科学与技术的进步而成长,到目前为止已分别在北京、上海、成都、杭州、武汉、合肥、南昌、兰州、大连、宁波成功组织了十六届全国薄膜技术研讨会,共同研讨薄膜科学技术领域的新材料、新设备、新工艺和新应用,邀请了李恒德、李林、沈天慧、吴全德、徐滨士、梁骏吾、柳百新、闻立时、华中一、庞世瑾、马俊如、薛群基、李言荣、俞大鹏、宫声凯等院士及国内知名的专家、学者到会作特邀报告,累计参会人数 4180 人,报告摘要 2200 余篇。

专委会还多次组织中小型学术交流会和技术产学研对接会,交流薄膜科技特定领域 科研、产业化等方面的最新进展,推进薄膜科技产学研深度合作。


 


 


 

 历任主任委员风采