近日，由中山市深中标准质量研究中心（简称：深中标准中心）协助中山市高 新技术企业中山凯旋真空科技股份有限公司制定的团体标准《半导体设备用低温泵评价规范》及广东省半导体设备用低温泵标准体系发布。同时，受凯旋真空公司委托，深中标准中心对其完成的广东省重点领域研发计划项目中的一项知识产权成果《一种冷伞及其制作方法、低温泵》完成了科技成果评价。

▲凯旋真空公司科研人员开展半导体设备用低温泵性能测试

▲标准封面

▲广东省真空学会关于发布《半导体设备用低温泵评价规范》团体标准的公告

▲标准详细信息

《半导体设备用低温泵评价规范》

        由广东省真空学会发布的团体标准《半导体设备用低温泵评价规范》，规定了半导体设备用低温泵评价的分类、基本要求、评价要求、评价方法、评价结果等内容，为半导体设备用低温泵评价提供工作依据。将促进半导体设备用低温泵设备性能评价规范化，推动低温泵制造产业进一步发展，为国产低温泵产品扩大国内市场、进军国际市场提供技术支撑。

▲广东省半导体设备用低温泵标准体系（框架图）

▲广东省半导体设备用低温泵标准体系（标准统计表）

广东省半导体设备用低温泵标准体系

        广东省半导体设备用低温泵标准体系从半导体设备用低温泵现状出发，以产品生产序列为导向，建立了广东省半导体设备用低温泵标准体系，形成了体系框架、明细表和编制说明。该标准体系适用于半导体设备用低温泵制造企业的技术研发、装备制造、检测、运输和售后服务等。体系的发布实施，将为半导体设备用低温泵评价体系建立提供依据，有利于提升半导体设备用低温泵制造企业标准化水平，助力推动低温泵制造产业高质量发展。

《一种冷伞及其制作方法、低温泵》

        《一种冷伞及其制作方法、低温泵》科技成果属于低温泵技术和分形结构热传输设计领域，将分形技术引用到低温泵中，提出了一种分形树状结构冷伞阵列设计。改进优化了低温泵重要部件冷伞阵列，解决了传统低温泵冷凝板（15K冷阵）状叠层式结构表面积小、冷量传输慢且分布不均匀的技术问题。该低温泵分形树状冷伞技术填补了国内外空白，具有较强创新性和先进性。

        中山市深中标准质量研究中心以标准化为基础，标准与知识产权融合发展为理念，持续为我市战略性新兴产业相关企业提供各类技术服务，加快推进战略性新兴产业体系形成及发展，为我市“新十大舰队”产业蓬勃发展注入动能。