各有关单位及专家：

        为全面落实省委、省政府以实体经济为本、坚持制造业当家的决策部署，根据《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》（国发〔2020〕8 号）和《广东省培育半导体及集成电路战略性新兴产业集群行动计划（2023—2025年）》（粤发改产业〔2023〕356号）的要求，积极推进特种装备及零部件生产研发，加快推进我国半导体设备用低温泵产业发展，我学会联合中山凯旋真空科技股份有限公司、中山市深中标准质量研究中心等多家单位编制的《广东省半导体设备用低温泵标准体系》现已完成征求意见稿。
标准体系应在充分协商一致的基础上建立，应反映当前科学技术水平和产业发展实际，有利于社会发展，有利于取得最佳效益，现特向贵单位及专家征求意见，希望各有关单位及专家积极参与，提出宝贵意见或建议，集思广益，使标准体系更合理、更符合产业的发展。
请于2024年7月20日下午17：30之前将意见和建议反馈我学会。敬请填写附件2《意见反馈表》，可通过E-mail或信件方式进行反馈。

联系人：唐振方

联系电话：136-09644416

联系地址：广州市天河区黄埔大道西601号暨南大学理工学院320房

邮编：510632
邮箱：gvsjnu@126.com
附件：1. 广东省半导体设备用低温泵标准体系（征求意见稿）
        2. 意见反馈表

广东省真空学会
2024年7月8日

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