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真空导轨

        BWC DualVee®真空滚轮是一种90°精密研磨表面的线性导向轴承,适用于真空环境直线运动系统。这些滚轮由适用于真空环境的AISI440C和304不锈钢以及油脂制成,能够承受高达10-9 mbar的超高真空度。可安装在AISI303DualVee®衬套上,并在90° AISI 420导轨上运行,单件导轨的长度可达20英尺(6米以上),提供两种尺寸规格,径向和轴向的最大承载能力分别为1855N和440N。润滑脂为Lubcon Ultratherm 2000超高真空润滑脂。

真空滚轮

 

1. 采用高等级不锈钢原材料
        真空环境不允许使用任何多孔性材料,例如,树脂、塑料和烧结材料等,这些多孔性材料在真空环境中会释放出气体。不锈钢在真空环境中不会释放气体,是一种清洁和不具有腐蚀的原材料,适用于真空环境的高清洁度应用要求。我们选用了高等级不锈钢,在高温工作环境下也不会软化。

 

2. 表面淬硬
        采用高等级不锈钢为原材料,并且对于导轨和滚轮中的所有运动接触面都进行了精良的表面淬硬处理。这样可以保证在运动的过程中不会产生疲劳剥落,防止破坏真空环境。

 

3. 滚轮特殊加工工艺
        滚轮侧面的紧固螺钉上加工了排气通路,让滚轮轴承内部不存在可以残留气体的死角。这样,在抽真空的时候,所有内部的气体,都可以通过紧固螺钉上的排气通路被抽掉。
        此外,六滚轮滑台也是该产品的一个独特的优势。在该类系统中,两根导轨在一条直线上,但是没有拼接在一起,导轨之间留有比较大的缝隙,六滚轮滑台可以在这两根导轨之间自由往返。这种设计使得往真空仓里运送零件非常容易,滑台可以从真空仓外面的导轨平稳过渡到真空仓内的导轨上。由于两根导轨之间有缝隙,这样就可以把真空仓的门紧紧关上,实现气密的目的。滚轮之间的距离稍微比导轨之间的缝隙大一些,这样的话,滑台经过缝隙的时候,始终有两组滚轮和导轨接触,保证了滑台的稳定性和顺利通过。
        对于超高真空应用环境,我们的不锈钢滚轮导轨系统可以完全不需要润滑而顺畅运行。滚轮的直径范围为18-54mm,单个滚轮的承载能力为180-4200N。

 

主要应用
        半导体晶圆制造设备、航天零件加工设备、气相沉积设备、LCD液晶板生产设备、真空蒸镀系统等等